產品規格：

PEEK Cassette系列介紹：

適用于制程間晶圓的傳送。產品尺寸符合適配業內主流規范，也可依照客戶要求進行定制化設計。

產品材料滿足：

避免晶圓受到靜電傷害

超低氣體釋放

超低雜質含量

耐磨且保護晶圓

耐高溫制程

產品主要指標

晶圓承載量：12

D1距：21.26mm(0.84")

槽距：9.5mm(0.37")

槽最窄距：3.20mm(0.12")

主營產品：

1、超純PFA管閥部件，可適用于化學品供應系統、混合分配系統、制程設備、化學品處理回收：管道、接頭、閥門、流量計、過濾器等。

2、超純PFA填料，在電子級氫氟酸、過氧化氫、硫酸、硝酸、鹽酸、氫氧化鉀、顯影液、刻蝕液等高純電子化學品產線建立起關鍵作用。

3、PEEK晶圓載具，4寸、4.125寸、6寸、8寸等PEEK晶舟以及專用光罩盒、通用光罩盒。