AGF系列電阻式碳化硅長晶爐

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電阻式碳化硅長晶爐 AGF系列北方華創

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公司介紹 主營產品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發

1. 產品概述

AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐，適用于 6、8 英寸，導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長。

2. 設備用途/原理

AGF系列 電阻式碳化硅長晶爐，適用于 6、8 英寸，導電 / 高純半絕緣型 SiC 晶體生長，4 組加熱器獨立控制，靈活的溫場調節機能力。坩堝系統具備升降、旋轉功能，溫場更均勻，下裝載，上維護，操作便捷。

3. 設備特點

晶體尺寸 6、8 英寸，加熱方式電阻加熱，適用材料碳化硅，適用工藝物理氣相輸運法（PVT 法），適用域科研、化合物半導體。碳化硅單晶是最重要的第三代半導體材料之一，具有禁帶寬度大、高熱導率、高飽和電子遷移率、高擊穿電場等特性，在智能電網、電力牽引、電動汽車、微波射頻等領域具有優勢。