NMC 508系列 CCP介質刻蝕機
具體成交價以合同協議為準
- 公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
- 品牌 北方華創
- 型號 NMC 508系列
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/6/5 12:29:43
- 訪問次數 539
聯系方式：謝澤雨19842703026 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息，謝謝!
1. 產品概述
NMC 508系列 CCP介質刻蝕機，多頻解耦設計，實現優異的均勻性及高深寬比介質刻蝕。
2. 設備用途/原理
NMC 508系列 CCP介質刻蝕機，多頻解耦設計，實現優異的均勻性及高深寬比介質刻蝕。應用域廣泛，涵蓋Si power、SiC Power、GaN Power、MEMS、硅光等。工藝種類覆蓋道HM刻蝕、CT刻蝕、Spacer刻蝕，后道Via刻蝕、PAD刻蝕。靈活的系統配置，適合研發、中試線、大規模生產線的不同應用。采用Clean Mode量產，道、后道均可實現優異的量產穩定性及更高的MTBC。
3. 設備特點
晶圓尺寸 6/8 英寸兼容。適用材料 氧化硅、氮化硅、氮氧化硅。適用工藝 鈍化層刻蝕、硬掩膜刻蝕、接觸孔刻蝕、導線孔刻蝕、側襯刻蝕、回刻、自對準刻蝕。適用域 科研、集成電路、化合物半導體。
采購中心
化工儀器網