美國(guó)TESCOM超高純度、高靈敏度減壓閥艾默生 64-3600系列 特點(diǎn)介紹

TESCOM 64-3600 系列超高純度、高靈敏度減壓閥采用低落差、緊固膜片設(shè)計(jì)，表面光潔度為 10 Ra/0.25 微米，可選哈氏合金®}精加工。

進(jìn)口壓力為 600 或 3500 psi/41.4 或 241 巴，出口壓力高達(dá) 150 psi/10.3 巴。

應(yīng)用領(lǐng)域

· 1/4"使用點(diǎn)

· 氣體柜

· 半導(dǎo)體制造

· 閥門(mén)歧管盒特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì)

· 10 Ra微英寸/0.25微米內(nèi)表面處理

· 金屬對(duì)金屬密封（用于高泄漏密性的隔膜到機(jī)身密封）

· 內(nèi)部電拋光可用

· 設(shè)計(jì)用于減少半導(dǎo)體氣體系統(tǒng)中的壓力波動(dòng)

· 滿(mǎn)足半導(dǎo)體使用點(diǎn)和氣瓶應(yīng)用的嚴(yán)格要求

美國(guó)TESCOM超高純度、高靈敏度減壓閥艾默生 64-3600系列 規(guī)格參數(shù)

運(yùn)行參數(shù)ANSI/ASME B31.3標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定的壓力額定值最大進(jìn)口壓力600或3500 psi/41.4或241 bar出口壓力范圍30、60、100、150 psi/2.1、4.1、6.9、10.3 bar設(shè)計(jì)驗(yàn)證壓力最大額定值的150%舷內(nèi)泄漏率1 x 10-9 atm cc/sec He工作溫度PTFE座：-40°F到140°F/ -40°C到60°C特氟隆®座：-40到160°F/ - 40°C到71°CVespel®座：-40至350°F/ -20至177°C流體容量Cv=0.15或0.06衰減進(jìn)口特性Cv=0. 15: 0.4每100 psi/ 0.03每6.9 barCv=0.06: 0.2每100 p si/ 0.01每6.9 bar