60升 干法清洗設備等離子清洗活化設備
| 參考價 | ￥ 30000 |
| 訂貨量 | ≥1臺 |
- 公司名稱 北京信利泰科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 60升
- 產地 北京
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2024/7/22 10:54:13
- 訪問次數 138
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1. 主機柜：
l 寬：約 600 mm
l 高：約 1700 mm
l 深：約 800 mm
2. 真空艙體：
l 艙體材質：艙體：不銹鋼
艙門：鋁合金
l 艙體內部尺寸： 寬：約 305mm
高：約 300 mm
深：約 370mm
l 艙體后板上有KF40法蘭的抽真空空和KF16法蘭的真空計接口和排氣口
l 艙門上有觀察窗1個
l 真空艙體與真空泵之間安裝有真空閥
3. 工藝氣體：
l 2路工藝氣體由質量流量控制器（MFC）控制
l 1路清洗氣體
l 真空壓力檢測使用皮拉尼真空計
4.射頻電源：
l 射頻電源：1臺
l 電源輸出頻率：13.56MHz
l 電源輸出功率：0 –500 W
l 射頻電源配備自動匹配器
l 安全保護：艙門安全開關
電源高溫保護開關
真空度檢測開關
5. 電極與托盤
l 3組電極，電極與樣品托盤水平對稱放置
6. 控制系統
l 設備通過PLC和觸摸屏控制
l 控制系統安裝在觸摸屏的工控機內t
l 輸入與輸出電流隔離，高抗干擾性
l 2中控制模式：手動模式：通過觸摸屏點擊手動操作
l 自動模式：通過編輯程序實現自動操作:
l 可編輯參數：工藝氣路選擇；
啟動工藝氣體真空度；
工藝氣體流量；
工藝氣體通入艙體內穩定時間；
啟動射頻電源真空度；
射頻電源功率；
等離子處理時間；
清洗時間；
通風時間。
l 自動模式下所有工藝步驟實時顯示
l 艙體關閉狀態，真空壓力，射頻反射功率過大安全聯鎖
l 真空壓力曲線顯示
l 故障報警系統
7. 設備連接
l 工藝氣體：6 mm雙卡套接頭
l 設備供電：220 V / 16 A / 50-60 Hz
l 排氣：KF25標準接口
8. 萊寶油式真空泵：
l 抽速：約 16m3/h
l 極限真空度： 約 0.01mbar
l 電機輸出功率： 0.6KW
l 供電連接：220V
l 噪音值：60dB（A）使用氣鎮閥時66dB（A）
l 抽氣口：標準KF25法蘭
l 排氣口：標準KF25法蘭
l 冷卻方式：風冷
l 工作環境溫度：5-40℃
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