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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>無掩模光刻機/直寫光刻機>UV Litho-S 無掩膜光刻機

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UV Litho-S 無掩膜光刻機

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1. 產品概述:

Speed系列是高速版的無掩膜版紫外光刻機,其配備了先進的高速空間光調制器以及高功率紫外激光器。這一系列的光刻機不僅保證了高精度和高靈活性,更在這一基礎上,擁有了更高的光刻效率。其的性能特點使其特別適合小批量生產的場景。在該場景中,它能夠發揮出其高效的優勢,為生產帶來更高的效率和更好的質量。Speed 系列為相關產業提供了更優質的選擇,滿足了市場對于高效率、高質量生產的需求。二維材料電

光學掩膜版

MEMS器件

灰度光刻

微流道芯片

特征尺寸1μm

8英寸光刻面積

高速掃描光刻

無掩膜光刻機

托托科技(蘇州)有限公司是一家注于顯微光學加工和顯微光學檢測域的公司,在基于數字微鏡器件的無掩膜光刻技術域中進行了數年的深入研究和技術積累,其研制和生產的無掩膜紫外光刻機一經問世,就受到了諸多客戶的青睞,在科研和工業域都有廣泛的應用。例如,在微納加工域,可以用于制作MEMS器件、微流控芯片、微型傳感器等;在光電子域,可以用于制作光柵、衍射光學元件等。

托托科技致力于設備底層技術的研究和積累,不斷尋求技術的突破,努力為客戶帶來更好的設備和更好的使用體驗,幫助客戶創造更高的價值。
Speed系列是高速版的無掩膜版紫外光刻機,其無掩膜光刻機配備了先進的高速空間光調制器以及高功率紫外激光器。這一系列的光刻機不僅保證了高精度和高靈活性,更在這一基礎上,擁有了更高的光刻效率。其的性能特點使其特別適合小批量生產的場景。在該場景中,它能夠發揮出其高效的優勢,為生產帶來更高的效率和更好的質量。Speed 系列為相關產業提供了更優質的選擇,滿足了市場對于高效率、高質量生產的需求





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