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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>光刻及涂膠顯影設備>涂膠顯影設備>DM200-SE 全封閉式桌面顯影機

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DM200-SE 全封閉式桌面顯影機

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顯影

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項,軟件著作權 14 項,是創新型中小企業、科技型中小企業、規模以上工業企業。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發

1.產品概述
全封閉式桌面顯影機是一種高效、精準的實驗室設備,主要用于各種材料的顯影處理。其全封閉式設計能夠有效防止顯影液揮發和污染,確保實驗環境的清潔和安全。同時,桌面型設計使得設備占地面積小,便于移動和放置,適用于各種實驗室環境。
2.產品特點

全封閉式設計:避免顯影液揮發和霧氣擴散到外部,保護環境,減少對人體健康的危害。
耐腐蝕材質:外殼噴塑處理,耐腐蝕、易清洗;內腔采用不銹鋼材質,鏡面拋光處理,光滑、耐腐蝕、易清洗。
內置真空過濾器:防止液體吸入真空泵,保護設備免受損壞。
可調真空壓力:真空壓力可調,壓力值實時顯示,滿足不同實驗需求。
可調液體流量:液體流量可調,回吸可調,確保顯影過程的精確控制。
廣泛適用性:適用于多種尺寸的wafer,從碎片到200mm(8”圓晶)均可處理。
高精度控制:轉速分辨率高,旋涂速度和加速度可調,工藝時間設定精確。
3.應用域

全封閉式桌面顯影機廣泛應用于高封裝、MEMS(微機電系統)、LED(發光二管)等市場域。此外,它還可用于醫療衛生、化工、能源、電子等多個行業的實驗室中,進行各種材料的顯影處理。
4.產品參數

產品型號:DM200-SE
品牌:LEBO/雷博
產地:中國(江蘇江陰)
材質:外殼噴塑,內腔不銹鋼
尺寸:550mm (W) x 600mm (D) x 405mm (H)
支持wafer尺寸:碎片至200mm(8”圓晶)
轉速分辨率:±1 RPM
旋涂速度:20-3000rpm(空載)
旋涂加速度:20-10,000rpm/sec(空載)
工藝時間設定:0-3,000sec/step,時間設置精度:0.1sec




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