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化工儀器網>產品展廳>實驗室常用設備>恒溫/加熱/干燥>馬弗爐/電阻爐/實驗爐> PECVD等離子體增強氣相沉積

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PECVD等離子體增強氣相沉積

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上海添時科學儀器有限公司是一家代理國內外儀器的經銷及技術服務的專業公司。國內管式爐,退火爐,氣氛爐,真空感應熔煉爐,箱式爐,手套箱,研磨拋光機,電池測試恒溫箱,金剛石線切割機,磁控濺射儀,蒸發鍍膜,PECVD設備供應商!

公司所涉及的產品遍布大專院校、科研單位、工廠企業、商檢、農業、食品、超市、治金礦山、建筑、石油、路橋等行業。

主要產品:生命科學儀器,化學分析儀器,光學儀器,物性測試儀器及設備,環保設備/流量儀表,行業專用儀器,藥物檢測儀器,種子儀器,農業和食品儀器,石油儀器,煤炭儀器,測繪儀表,建筑儀器,公路儀器,地質儀器,電工儀器儀表,自動化儀表,氣象儀器,環保儀器,電教器材,無線電儀器,小型機械等。并且提供與生物技術相關的實驗室科研儀器設備、實驗室耗材與試劑、實驗室設計、規劃、改建等服務。公司以“高品質,高服務,高信譽”贏得各地市場,各個領域的好評和歡迎。

未來,公司將引進和代理更多國內產品,并將研發自有品牌的產品以滿足市場不同的需求,以更高質量的產品,更高質量的服務,更高效率的運營,樸素而先進的管理理念,為客戶提供更優良的產品和服務!

公司宗旨:客戶至上 誠信為本 開拓創新 成就*




紫外可見分光光度計,原子熒光光度計,原子吸收分光光度計,紫外分光光度計,氣相色譜儀,液相色譜儀,電子天平,旋光儀,熔點儀

    PECVD等離子體增強化學氣相沉積是一種利用等離子體來促進氣體反應的CVD技術。其特點包括:

    1、低溫沉積:PECVD可以在較低的基材溫度下進行,因為等離子體提供的能量能夠促進氣體反應,降低沉積溫度的需求。

    2、高沉積速率:等離子體增強了氣體反應速率,從而提高了薄膜沉積速率。

    3、良好的膜質量:PECVD沉積的薄膜通常具有較好的均勻性和較低的缺陷密度,適用于需要高質量薄膜的應用。

    4、適應性強:可以沉積多種材料,包括氧化物、氮化物和氟化物等,廣泛應用于半導體、光電器件和保護涂層等領域。

    5、控制性好:通過調整等離子體的參數(如功率、氣體流量和壓力),可以精確控制薄膜的成分和性質。

    加熱爐參數

    ?最高溫度:1200ºC(<30min),連續工作溫度:1100℃;

    ?兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統;

    ?輸入功率:208-240V,單相,最大功率:2.5KW;

    ?高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗;

    ?回轉爐旋轉速度:2-10rpm;

    ?爐體開啟式設計,以達到對樣品快速降溫,方便更換爐管。


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