RIE系列離子刻蝕機（褪膜設備）

一、主要特點：

1、離子刻蝕機（褪膜設備）能夠以超低清洗溫度，滿足不同場合溫度要求，不對清洗產品造成溫度影響；

2、旋轉裝置為行星旋轉機構、具鍍膜工藝不同，設計為：變頻調速，公轉式、公自轉結合式。采用氣動門鉸，自動鎖門，減少操作程序，增強真空門整體的密閉性及減少對橡膠密封圈的破壞性；

3、高真空度真空腔體設計及制造工藝，配置進口真空泵（分子泵），用戶可據自己的需求，隨時升級為多功能鍍膜設備；

4、設備采用高壓激勵電路技術，產生高密度等離子體，確保出眾的清洗效果；

5、放電技術：特殊處理及特殊結構的放電裝置，確保形成穩定均勻的等離子體；

6、智能控制：PLC智能控制+HMI全彩人機觸控界面，實現邏輯全自動控制；

7、報警及保護：全面安全防護包括：溫度安全防護功能、過載防護功能、短路斷路報警防護功能，各種誤操作保護功能。異常情況進行報警，并執行相應保護措施。

二、技術優勢：

1、物質的微結構表面會粘附各種各樣的氣體分子、微小顆粒、氧化物雜質等，統稱為粘附物，這些粘附物屬于微觀粒子，宏觀的清洗方式不能清除它們；

2、這些微觀粘附物會對納米級膜層產生諸多不利影響，影響膜層的結合力、清潔度、光澤、致密度等；

3、離子束刻蝕清洗源可以在真空條件下產生高能氬等離子體，轟擊被鍍工件表面；它不僅可以消除表面粘附物，還能“刻蝕”物質表面氧化物，從而得到“新鮮”物質表面，可以極大地提高薄膜的結合力，并提高膜層純度；

4、離子束清洗工藝通常運行在膜層沉積之前。 清洗各種形狀復雜的產品，包括內孔內壁、均勻清洗；

5、設計更緊湊合理、美觀；離子束更穩定；工作功率范圍更寬；清洗刻蝕效率更高；刻蝕均勻性更好；性能可靠，操作維修簡單方便；產品系列更完整；

6、應用領域，可以為如下行業的鍍膜提供表面清洗預處理：3C消費電子、電子元器件、光學、 交通工具、刀具模具、家電、新能源、醫療、科研等行業。

三、設備參數：

四、應用領域：

1、可褪碳基薄膜，可作為DLC/TAC薄膜的褪膜機使用；

2、可應用在：3C消費電子、電子元器件、光學、交通工具、刀具模具、家電、新能源、醫療、科研等行業。

注明：以上數據來源于安徽純源鍍膜科技有限公司-材料實驗室-檢測結果