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施啟樂(廣州)儀器有限公司

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美國PIE 等離子清洗機 等離子體表面處理 Tergeo 產品關鍵詞:清洗pie;pie等離子;Tergeo等離子清洗機;pie等離子清洗機;tergeo等離子清洗機;pi清洗機

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 本公司主要從事半導體進口設備及輔助材料、醫療檢測設備等多領域的銷售,是一家集研發、制造、銷售為一體的企業。我們的主營業務涉及了研發銷售及加工材料及周邊產品;電子光電產品設備研發組裝及銷售,半導體儀器設備銷售;國內貿易、貨物及技術進出口;醫療器械研發及銷售;醫用耗材及醫療用品的銷售等。

本公司主要從事半導體進口設備及輔助材料、醫療檢測設備等多領域的銷售,是一家集研發、制造、銷售為一體的企業。我們的主營業務涉及了研發銷售及加工材料及周邊產品;電子光電產品設備研發組裝及銷售,半導體儀器設備銷售;國內貿易、貨物及技術進出口;醫療器械研發及銷售;醫用耗材及醫療用品的銷售等

美國PIE等離子清洗機 基本型等離子 等離子體表面處理 擴展型等離子清洗機



一、美國PIE等離子清洗機應用

等離子清洗機清除樣品表面的污染物,去除光阻膠:產生表面活性功能組;

清洗提高材料表面親水性及疏水性,清洗生物芯片、微流控芯片,PDMS;

表面活化:渲染表面的親水性或疏水性,鍵合和沉積前的表面預處理

表面聚合:沉積帶官能分子團的聚合物,移植聚合物到活化后的材料表面;

表面改性:在材料表面產生官能分子團,高分子材料表面修飾;

去除表面殘留微生物,的消毒和

二、美國PIE等離子清洗機的特點
1、13.56MHz高頻射頻發生器;

2、7英寸觸摸屏控制界面,全自動操作;

3、標配75W版本,可選150W版本;

4、系統具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化。


三、美國PIE等離子清洗機技術參數

1、控制系統

1)操作界面:7英寸電阻觸摸屏操作界面,支持多種工作方式。

2)程序控制:可編程,總共有20個程序,每個程序有3個清潔步驟。

2、反應腔體

1)腔體材質:圓柱形石英玻璃艙;

2)腔體容積:2.6L;

3)腔體尺寸:內徑:110毫米,深度:280毫米。

3、射頻電源

1)射頻頻率:13.56MHz;

2)射頻功率:標配0~75W;從0瓦到75瓦之間以1瓦間距連續可調,可選0~150W

4、等離子源

1)等離子強度探測器實時測量等離子源強度。

2)外置電極設計,高壓電極不合等離子接觸以避免金屬濺射造成的樣品污染。


5、氣體控制

1)氣路控制:標配一路MFC;可選配三路MFC;

2)質量流量計可以在0~100sccm之間準確控制氣體流量;

3)一路(Venting and purging)氣體入口用來快速給樣品室放氣和沖走殘余處理氣體。



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