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PHI ADEPT010 動態二次離子質譜儀D-SIMS|束蘊儀器

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束蘊儀器(上海)有限公司自成立以來,憑借與德國布魯克(BRUKER)、國際衍射數據中心(ICDD)、德國Freiberg等國際實驗室分析儀器品牌的戰略合作,迅速成為業界儀器供應商。

我們擁有一支積極樂觀,正直誠信的年輕團隊,我們熱忱的信仰科學,相信科學技術能為我們的客戶帶來質量較高的生活,為社會的進步起到積極的促進作用。

束蘊儀器為各類客戶提供完善的實驗室和工業檢測儀器及過程控制設備,專業的應用支持及完善的售后服務,在中國大陸的諸多領域擁有大量用戶,如高校、科研院所、航空航天、國家機關、檢驗機構及工業企業,產品覆蓋了醫藥、生物、材料、考古、電子、食品等各個行業。公司的宗旨:為客戶量身打造適合的綜合解決方案,技術支持和現場服務,系統高效的客戶培訓,快速及時的售后服務。

束蘊儀器,讓世界更清晰!

主營儀器設備:

--高分辨X射線顯微CT、多量程X射線納米CT、X射線衍射儀、X射線熒光光譜儀、電子順磁共振波譜儀(ESR/EPR)、臺式核磁共振波譜儀 TD-NMR、光學輪廓儀等 -- 德國布魯克Bruker 授權代理商

--PDF衍射數據庫、JADE軟件--國際衍射數據中心(ICDD)授權代理商

--晶圓片壽命檢測儀、在線晶圓片/晶錠點掃或面掃檢測、晶圓片在線面掃檢測儀、臺式PID潛在誘導退化測試儀、釋光測定儀等--德國Freiberg Instruments授權代理商



單位名稱:束蘊儀器(上海)有限公司

詳細地址:上海市松江區千帆路288弄G60科創云廊3號樓602室









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  動態二次離子質譜儀(Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry,簡稱D-SIMS)是一種用于固體材料成分分析的高靈敏度表面分析技術。
 
  ADEPT-1010 專為淺層半導體注入和絕緣薄膜的自動分析而設計,是大 多數半導體開發和支持實驗室的常用工具。通過優化的二次離子收集光學系統 和超高真空設計,提供了薄膜結構檢測中的摻雜組分和常見雜質所需的靈敏度。
 
  工作原理:
 
  動態二次離子質譜儀通過使用聚焦的高能量一次離子束(如O??、Cs?、Ar?等)轟擊樣品表面,使樣品表面的原子或分子被濺射出來。在這個過程中,部分濺射出的粒子會帶電,形成二次離子。這些二次離子被收集并傳輸到質譜儀中進行分析,通過質譜分析可以確定樣品的化學組成和元素分布。
 

動態二次離子質譜儀

 



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