EBARA荏原  干式真空泵 EV-S100

EBARA荏原  干式真空泵 EV-S100

干式真空泵（Dry Vacuum Pump）是一種在抽氣過程中無需使用油或其他液體作為工作介質的真空泵。與傳統的油封式真空泵相比，因此在半導體制造、制藥、化工、食品加工等高潔凈度要求的行業中得到了廣泛應用。

工作原理

干式真空泵通過機械運動直接抽除氣體，無需液體密封或潤滑。其工作原理主要依賴于轉子、葉片或螺桿等機械結構的運動，將氣體從進氣口吸入并壓縮，最終從排氣口排出。常見的干式真空泵類型包括螺桿式、爪式、旋片式和渦旋式等。

主要特點

無油污染：干式真空泵在運行過程中不使用油或其他液體介質，避免了油蒸氣對工藝環境的污染，特別適合對潔凈度要求的行業，如半導體和制藥。

低維護成本：由于無需定期更換油液或處理廢油，干式真空泵的維護成本較低，且運行更加可靠。

高效節能：干式真空泵通常采用先進的設計和材料，具有較高的抽氣效率和能源利用率。

技術發展趨勢

隨著工業技術的進步，干式真空泵正朝著更高效率、更低噪音和更智能化的方向發展。例如，采用變頻技術優化能耗，通過智能監控系統實現遠程控制和故障診斷。此外，新材料的應用也進一步提升了干式真空泵的耐腐蝕性和使用壽命。