| 尺寸 | 6英寸/8英寸/12英寸 | 材質 | 拋光不銹鋼/鍍金 |
|---|---|---|---|
| 吸附方式 | 真空吸附 | x-y軸調節行程 | 6英寸/8英寸/12英寸 |
| 探針臺型號 | HTM-600RF |
| 外形尺寸 | 寬580mm |
| 深520mm | |
| 高800mm | |
| 整體重量 | 約80Kg |
| 尺寸 | 中6英寸 |
| 材質 | 拋光不銹鋼/鍍金 |
| 平整度 | ±3μm |
| 吸附方式 | 真空吸附 |
| 電學特性 | 浮地懸空 背電極信號加載&測量 |
| X-Y軸調節行程 | 6英寸x6英寸 |
| X-Y軸調節方式 | 線性無回差1μm精調 氣浮快速定位 |
| Z軸升降調節行程 | 0-10mm,精度1μm |
| θ 水平方向旋轉角度粗調 | 0-360° |
| ②水平方向旋轉角度微調 | ±5°,精度0.1° |
| a垂直方向擺動角度微調 | ±20°,精度0.1° |
| X-Y-Z軸調節行程 | 50mmx50mmx50mm 精度1微米 |
| Z軸氣動升降行程 | 50mm,升降速度可調 |
| 傾仰角度調節 | 0-30°,自動鎖止 |
| 光學倍率 | 180X/500X/1000X |
| 光學分辨率 | 5μm/2μm/1μm |
| 工業相機像素 | 1920x1080P |
| 外型 | U型 |
| 材質 | 拋光不銹鋼&防腐氧化 |
| 平整度 | ±3μm |
| 容積 | 至多放置8個探針座 |
| 快速升降行程 | 5mm |
| 微調升降行程 | 25mm,精度1μm |
| 探針座點測定位精度 | 1.4μm/0.7μm/0.35μm |
| 探針座支持測量類型 | 低頻/高頻/大功率/光波 |
| 探針卡安裝尺寸 | 4.5英寸 |
| 射頻高阻有源同軸探針 | DC-26GHz,阻抗可選 |
| 多用途高速無源同軸探針 | DC-11GHz,阻抗可選 |
| 微波無源同軸探針 | DC-110GHz,50Q |
| 波導同軸探針 | 33-1100GHz,50 |
| 其他定制探針/探卡 | 微波差分同軸探針 微波&直流混合楔型探針 微波&直流混合探卡 |
| 校準片 | SOLT/TRL/TRM |
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