電子行業高精密制造愛發科真空泵

電子行業核心應用場景 

愛發科真空泵在電子制造中扮演關鍵角色，覆蓋從半導體到消費電子的全產業鏈：  

1. 半導體制造  

   - 薄膜沉積（CVD/PVD/ALD）：為納米級薄膜（如高k介質、銅互連層）提供超潔凈真空環境。  

   - 等離子刻蝕：快速抽除反應氣體副產物（如Cl?、CF?），保障刻蝕精度。  

   - EUV光刻：超低極限真空（≤10?? Pa）支持極紫外光刻膠涂布與顯影。  

2. PCB與封裝 

   - 真空層壓：多層板壓合時排除氣泡，提升電路板可靠性。  

   - 芯片塑封：真空環境避免封裝材料孔隙，降低器件失效風險。  

3. 顯示屏制造  

   - OLED蒸鍍：維持高真空（10?? Pa）確保有機材料均勻沉積。  

   - 液晶灌注：快速抽真空后注入液晶，避免雜質混入。  

4. 電子元件生產  

   - 磁控濺射鍍膜：為傳感器、連接器金屬化提供穩定真空。  

   - 真空釬焊：精密電子元器件的無氧化焊接。  

愛發科真空泵的核心特點與性能

差異化優勢與客戶價值

1. 成本優化  

   - 干式泵無耗材設計，5年維護成本比油泵低 60%（以單臺設備計，節省超$50,000）。  

   - 智能變頻技術減少待機能耗，年節電1.5萬度（約$2,000）。  

2. 良率提升

   - 真空穩定性（壓力波動±0.5%）使薄膜均勻性標準差從1.2nm降至0.3nm，芯片良率提高 8%~12%。  

3. 快速擴產支持 

   - 模塊化設計支持抽速擴展（如從200 L/s升級至2000 L/s），適配晶圓廠從8英寸到12英寸的產線升級。  

4. 綠色制造 

   - 零油污排放，符合ISO 14064與半導體行業ESG標準，助力企業碳中和目標。  

行業實證案例

案例1：3D NAND存儲芯片量產 

- 痛點：200層堆疊工藝中，傳統泵真空波動導致薄膜階梯覆蓋率不足90%。  

- 方案：愛發科 **MAGiQ系列磁懸浮分子泵+干式前級泵**。  

- 成果：  

  - 真空穩定性提升至±0.3%，階梯覆蓋率＞99%；  

  - 單臺設備年節省電費$8,500，維護成本降低45%。  

案例2：柔性OLED屏真空蒸鍍  

- 痛點：油蒸氣污染導致發光層暗點缺陷率5%。  

- 方案：替換為愛發科 iDRY系列全干式真空泵。  

- 成果：  

  - 缺陷率降至0.2%，屏幕亮度均勻性達98%；  

  - 設備綜合效率（OEE）從82%提升至93%。  

愛發科真空泵通過 超潔凈、高穩定、智能化 三大技術支柱，成為電子行業精密制造的核心支撐：  

1. 技術性：磁懸浮分子泵與干式泵技術打破油污染瓶頸，適配3nm以下制程；  

2. 商業價值：良率提升與能耗降低直接推動客戶利潤率增長，5年綜合成本下降40%；  

3. 未來兼容性：模塊化設計預留AIoT接口，支持與智能制造系統（MES）無縫對接。  

電子行業高精密制造愛發科真空泵