ULVAC（愛發(fā)科）作為以真空技術為核心的綜合企業(yè)集團，其產(chǎn)品和技術廣泛應用于多個工業(yè)領域。以下是主要應用場景及對應產(chǎn)品：

?半導體制造?

提供超微細化技術設備，支持下一代半導體的高集成化與低成本制造需求；

LR系列多級羅茨型干泵專門用于縮短半導體工藝中的排氣時間，提升產(chǎn)能；

配套真空部件（如R-7真空泵油）保障設備穩(wěn)定運行8。

?平板顯示（FPD）與光伏（PV）制造?

開發(fā)濺射設備用于顯示器鍍膜工藝，覆蓋金屬、氧化物等材料的精密沉積；

適配FPD/PV生產(chǎn)線的高真空泵（如VDN系列油旋片泵），滿足低噪音、高效率的抽氣需求。

?電子設備制造?

推出支持高集成化電子產(chǎn)品的制造設備，涉及精密加工和材料處理技術；

真空計（如ST200/SH200系列）用于惡劣環(huán)境下高精度真空測量，確保工藝穩(wěn)定性。

?通用工業(yè)領域?

真空泵（如VDN301/401）應用于鍍膜、干燥、抽氣等場景，適配機械、汽車、化工等行業(yè)；

提供真空系統(tǒng)解決方案，涵蓋能源、環(huán)保、生物工程等跨領域需求。