u應用簡介

如果要用掃描電鏡(SEM)或透射電鏡(TEM)獲得高質量的樣本成像，樣本需要具有導電性，以避免電荷聚積。如果樣本沒有足夠高的導電性，您可以用濺射鍍膜法快速為其鍍上導電層。 還可以使用碳蒸鍍或電子束蒸鍍方法。 這類鍍膜既可以保護樣本，增強電子顯微成像的對比度，又可以作為小規模樣本的透射電鏡載網支撐膜。

u設備概述

FSEM AA200雙靶位噴金儀適用于常規SEM和TEM分析。該設備是全自動系統，從而使操作變得極為簡便。秉承人體工學設計理念的同時，緊湊的外觀設計和更小的桌面占用面積為您大大節約了實驗室空間。FSEM系列噴金儀為全閉環真空設計，配有全量程皮拉尼真空計等多個傳感器實時監控運行狀態，保證儀器安全穩定運行。采用高性能旋葉真空泵，快速獲得＜1Pa的真空環境，高精度的濺射電源采用恒流控制，鍍膜更純，膜厚更準，結果重復性更好。

u產品特點

◇ 設計美觀，操作簡單，界面友好、一鍵鍍膜

◇ 雙靶位設計，無需更換靶材，可實現疊層工藝

◇ 采用抽大樣品倉，可進行快速制樣，樣品臺可預傾斜及旋轉，旋轉可調

◇ 可直接放置16個標準釘型樣品臺，無需工作人員介入，節省人力和時間

◇ 采用ARM架構，全自動控制，控制精度高，操作簡單

◇ 低電壓，穩定真空環境，可濺射多種常用金屬金、鉑、鈀、銀等

◇ 濺射顆粒可達納米級別，濺射顆粒＜5nm制備薄膜致密，適合高分辨SEM使用

◇ 采用磁控濺射技術，利用平面磁場減少溫度的變化，適用于溫度敏感樣品

◇ 配有多個傳感器實時監控運行狀態，保證儀器使用安全

◇ 長期運行，穩定可靠，無需特殊維護

◇ 具備開關機數據存儲記憶，修復長期應用偏差

◇ 儀器可全自動控制，更方便用戶實現各種自動化控制操作

◇ 軟件遵循GMP規范，方便實現用戶管理，使用記錄等功能

u技術參數

u配置清單

u服務承諾

1、產品到達貴公司后，我公司工程師可在貴公司準備好設備所需外部條件（如水、電、氣等）后，負責該設備的安裝、調試、啟動工作，并提供良好的技術支持和售后服務，同時對貴公司使用人員進行設備使用培訓，保證受訓人員能夠獨立、熟練操作設備和完成簡單的維修工作、設備日常維護工作。★復雜設備，此項工作在用戶現場進行，簡單設備，此項工作遠程視頻指導進行，具體按照雙方合同條款執行。

2、我公司產品在貴公司負責人驗收合格書上簽字之日起計算，免費保修壹年。在免費保修期內，產品發生非人為質量問題，我公司為貴公司提供免費維修。如產品在免費保修期外出現故障，維修服務只適當收取人工費與材料成本費，并采取“先維修后付費”的原則。

3、我司擁有全國客戶支持中心，通過電話及視頻通話及時幫助全國客戶解答問題，擁有一支訓練有素的工程師隊伍為全國各地的客戶提供優質、快速的上門服務。我司在接到貴方的故障通知后，保證在 0.5 小時內做出響應，如有需要，確保在12小時內到達客戶現場排除故障。

4、我公司承諾在該設備的使用期間，可無償、無限期地提供該設備的技術支持工作。

5、我公司承諾提供免費軟件升級服務（如涉及）。

6、我司工程師長期免費為客戶提供金相/電鏡制樣工藝制定協助。

7、我司有完善的配套耗材體系，客戶有新材料需要制樣時，免費為客戶提供合適的耗材進行測試。

8、由于我司和SGS、華測檢測、上海機械協會失效分析委員會、上海市電子學會SMT/MPT專委會、北京科技大學、蘇州大學等行業三方檢測機構和學術機構有深入合作，我方承諾為客戶失效分析實驗室提供長期免費咨詢服務和引薦服務。