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VPS-RF120 真空等離子清洗設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 深圳深光達(dá)科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 深圳
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/6/22 21:35:08
  • 訪問次數(shù) 111

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我們注于等離子(PLASMA)清洗工藝技術(shù)和相關(guān)裝備的研發(fā)生產(chǎn),核心技術(shù)源自歐美二十年等離子體行業(yè)經(jīng)驗。公司核心團(tuán)隊來自中科院等離子體物理研究所、德國Diener、中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)、北京大學(xué)等國內(nèi)科研機構(gòu),其開發(fā)的等離子清洗裝備已廣泛應(yīng)用于高校、半導(dǎo)體、汽車、電子行業(yè)、3C行業(yè)、印刷行業(yè)生物等行業(yè)域。深光達(dá)科技成立至已為清華大學(xué)、西安交通大學(xué)、比亞迪、蘭州大學(xué)、深圳大學(xué)、香港大學(xué)、提供過等離子處理設(shè)備和解決方案, 我們將不斷為材料表面處理開發(fā)創(chuàng)新方案,致力于為用戶提供等離子表面處理與檢測整體解決方案。深圳深光達(dá)科技有限公司深耕等離子技術(shù)域十余載,表面處理解決方案服務(wù)商。公司自主研發(fā)的真空、大氣常壓及微波等離子清洗設(shè)備,精準(zhǔn)清洗與活化,設(shè)備連續(xù)運行穩(wěn)定性達(dá)99.6%以上,通過ISO 9001/14001雙體系認(rèn)證。其低溫真空等離子去膠機**在半導(dǎo)體封裝環(huán)節(jié)實現(xiàn)每小時300片晶圓的量產(chǎn)處理,刻蝕均勻性誤差<3%,助力客戶良品率提升20%+。針對汽車內(nèi)飾、醫(yī)療導(dǎo)管等復(fù)雜曲面,**常壓旋轉(zhuǎn)噴槍系統(tǒng)**可完成360°處理,表面張力值穩(wěn)定提升至72mN/m以上。現(xiàn)已在富士康、比亞迪等200+企業(yè)產(chǎn)線中實現(xiàn)7×24小時不間斷作業(yè),設(shè)備MTBF突破8000小時,以航空品質(zhì)重新定義工業(yè)清洗標(biāo)準(zhǔn)。主營產(chǎn)品有等離子清洗機,等離子去膠機,實驗型真空等離子清洗機,真空等離子清洗機,低溫等離子清洗機,大氣等離子清洗機,等離子表面處理機,等離子刻蝕機,晶圓清洗機,反應(yīng)離子刻蝕機,旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

 

 

等離子清洗機,等離子清洗器,實驗型真空等離子清洗機,真空等離子清洗機,低溫等離子清洗機,大氣等離子清洗機,等離子表面處理機,等離子刻蝕機,晶圓清洗機,旋轉(zhuǎn)型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 綜合

VPS-RF120 真空等離子清洗設(shè)備簡介:

VPS-RF120真空等離子清洗設(shè)備主要由真空腔體、高頻等離子電源、真空產(chǎn)生及測量系統(tǒng)、工藝氣體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等部分組成。工作基本原理是利用真空泵將工作室進(jìn)行抽真空到一定的真空度后,通入工藝氣體,在高頻發(fā)生器作用下,在陽極和陰極之間形成高頻交變電場,將氣體進(jìn)行電離,形成等離子體。當(dāng)氣體到達(dá)等離子狀態(tài)時,氣態(tài)分子會裂變成許多高度活躍的粒子。等離子清洗的機理正是依靠處于“等離子態(tài)”的物質(zhì)的“活化作用”,達(dá)到去除物體表面污漬或改善表面活性的目的。


   

VPS-RF120 真空等離子清洗設(shè)備


VPS-RF120 真空等離子清洗設(shè)備特點:歐美放電技術(shù),專業(yè)型放電結(jié)構(gòu),科學(xué)仿真等離子體分布均勻,處理效果均勻

產(chǎn)品應(yīng)用:去除表面有機物、表面油污清洗、提高表面親水性、改善表面粘接性、提高表面附著力、提高綁定性能

       

產(chǎn)品參數(shù):

型號

VPS-RF120

等離子頻率

13.56MHz 自動阻抗匹配

工作真空度

10-100Pa

真空泵

油泵/干泵(可選)

功率

0-1000W可調(diào)

腔體材質(zhì)

進(jìn)口級316L不銹鋼/航空鋁合金(可選)

腔體尺寸

500(W)*500(D)*490(H)mm

腔體容積

120L

單層有效處理面積

450mm(W)*430mm(D)

氣路數(shù)量

2路氣體,支持氧氣,氬氣,氮氣,氫氣等(腐蝕性氣體需定制)

處理層數(shù)

8層(可定制)

控制方式

PLC+觸摸屏

電源

AC380V,50/60Hz

外形尺寸

950mm(L)×1100mm(W) ×1800 mm(H)




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