CDS混液柜是專為半導體、醫藥及化工領域設計的自動化化學液體混合與供液系統，集成了高精度配比、安全防護及智能化控制功能。其核心優勢在于通過模塊化設計實現多組分化學液的精準混合與連續供應，同時保障操作安全性與工藝穩定性。

一、核心功能與技術特點

全封閉耐腐蝕結構

柜體采用PP、PVDF或PFA等耐酸堿腐蝕材料焊接而成，有效隔絕強酸、強堿等揮發性氣體泄漏，避免環境污染與設備腐蝕。

透明PVC觀察窗與可拆卸后門設計，便于實時監測內部管路狀態，快速定位故障。

高效混液與供液能力

配備雙PE材質供液桶（如1000L容量），支持一備一用不間斷供液，滿足連續生產需求。

計量泵與循環過濾系統結合，實現化學液的精確配比（如光刻膠、蝕刻液濃度控制）與微粒過濾（0.2μm濾芯），確保液體潔凈度。

除泡器消除流體震動產生的氣泡，避免氣泡對工藝穩定性的影響。

智能控制系統

PLC人機交互界面支持參數預設、流程自動化及遠程監控，減少人工干預。例如，接收主機臺信號后自動啟停供液程序，并記錄用量數據。

漏液偵測與警報系統覆蓋供液柜、閥箱及管道，通過雙套管設計（內管走液，外管監測泄漏）及時預警，防止化學品污染。

安全與環保設計

抽風系統搭配差壓表實時監測揮發性氣體排放，防爆照明與氣體偵測器適用于有機溶劑等高危場景。

水循環沖洗與氮氣干燥功能替代傳統高溫烘干，避免治具熱損傷，同時降低能耗。

二、應用場景與行業價值

半導體制造：用于光刻、蝕刻工藝中的化學液精準配送，如顯影液、蝕刻液的多工位循環供液，提升芯片良品率。

醫藥研發：支持藥物中間體合成、高分子控釋劑制備等場景，模塊化配置適應不同配方需求。

電子工業：服務于PCB蝕刻、電鍍等環節，確保化學藥劑輸送的高精度與穩定性。

三、設備優勢總結

兼容性強：適配不同尺寸治具與多類型化學液，支持定制化工藝參數。

低損耗率：精準混液減少試劑浪費，物理隔離設計延長設備壽命。

綠色節能：化學劑回收率≥90%，真空干燥能耗較傳統方式降低40%。

高潔凈度：顆粒過濾精度達Class 5標準，滿足制程要求。

CDS混液柜通過技術整合與創新，解決了傳統人工配液的效率低、風險高、精度差等問題，成為半導體等領域的關鍵設備，助力客戶實現高效、安全、綠色的生產目標。