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等離子處理系統

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我們注于等離子(PLASMA)清洗工藝技術和相關裝備的研發生產,核心技術源自歐美二十年等離子體行業經驗。公司核心團隊來自中科院等離子體物理研究所、德國Diener、中國科學技術大學、北京大學等國內科研機構,其開發的等離子清洗裝備已廣泛應用于高校、半導體、汽車、電子行業、3C行業、印刷行業生物等行業域。深光達科技成立至已為清華大學、西安交通大學、比亞迪、蘭州大學、深圳大學、香港大學、提供過等離子處理設備和解決方案, 我們將不斷為材料表面處理開發創新方案,致力于為用戶提供等離子表面處理與檢測整體解決方案。深圳深光達科技有限公司深耕等離子技術域十余載,表面處理解決方案服務商。公司自主研發的真空、大氣常壓及微波等離子清洗設備,精準清洗與活化,設備連續運行穩定性達99.6%以上,通過ISO 9001/14001雙體系認證。其低溫真空等離子去膠機**在半導體封裝環節實現每小時300片晶圓的量產處理,刻蝕均勻性誤差<3%,助力客戶良品率提升20%+。針對汽車內飾、醫療導管等復雜曲面,**常壓旋轉噴槍系統**可完成360°處理,表面張力值穩定提升至72mN/m以上?,F已在富士康、比亞迪等200+企業產線中實現7×24小時不間斷作業,設備MTBF突破8000小時,以航空品質重新定義工業清洗標準。主營產品有等離子清洗機,等離子去膠機,實驗型真空等離子清洗機,真空等離子清洗機,低溫等離子清洗機,大氣等離子清洗機,等離子表面處理機,等離子刻蝕機,晶圓清洗機,反應離子刻蝕機,旋轉型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

 

 

等離子清洗機,等離子清洗器,實驗型真空等離子清洗機,真空等離子清洗機,低溫等離子清洗機,大氣等離子清洗機,等離子表面處理機,等離子刻蝕機,晶圓清洗機,旋轉型真空等離子處理儀,真空等離子清洗儀

產地類別 國產 應用領域 綜合

產品簡介:VPS-RF05是一款小型桌面型真空等離子處理儀,其原理是在真空狀態下(約10~100pa),給氣體施加電場,氣體在電場提供的能量下會由氣態轉變為等離子體狀態(也稱物質的“第四態”),其中含有大量的電子、離子、光子和各類自由基等活性粒子,比通常的化學反應所產生的活性粒子種類更多、活性更強,更易于和所接觸的材料表面發生反應。通過利用這些高能粒子和活性粒子與材料表面發生物理或化學的反應,從而達到改變材料表面性質的目的。


等離子處理系統特點:進口等離子電源電路技術、放電結構,確保等離子體均勻分布。


等離子處理系統應用:去除表面有機物、提高粘接性、提高表面潤濕性、提高生物相容性、提高表面能、改善表面粗糙度。

等離子處理系統


產品參數:

型號

VPS-RF05

頻率

13.56MHz自動阻抗匹配

功率

0-200W連續可調

腔體材質

進口級316L不銹鋼

腔體容積

5L

腔體尺寸

Φ150(直徑)×280(D)

有效處理面積

140(W)*250(D)mm

氣體流量控制器

MFC 質量流量控制器

氣路數量

2 路氣體,常用O2、Ar2、N2,H2、等(腐蝕性氣體需定制)

真空測定系統

皮拉尼真空硅管

極限真空度

1Pa

控制方式

4.3寸觸摸屏+PLC

真空泵

油泵/干泵(選配)

電源供應

AC220V/50Hz

外形尺寸

550mm(L)×450mm(W) ×500 mm(H)





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