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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>其它測量/計量儀器>測振儀> YCL-4A橢圓偏振測厚儀

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YCL-4A橢圓偏振測厚儀

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高校物理實驗儀器,光譜應用分析儀器

手動橢圓偏振測厚儀使用消光法測量薄膜厚度和折射率,手動調節測試過程中的起偏和檢偏角度,橢圓偏振法廣泛地應用于固體基片上介質薄膜的測量;在己有測定薄膜厚度的方法中,它是能測量到和精度的一類。

實驗原理和內容:

 

 

主要配置及參數:

測量范圍

1nm-300nm

測量最小值

≤1nm

入射角

30°-90°誤差小于等于0.1°

讀數范圍

0°-180°

工作臺直徑

70mm

中心高度

152mm

度盤刻度

每格2°

最小讀數

0.05°



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