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化工儀器網>產品展廳>測量/計量儀器>其它測量/計量儀器>測振儀> YCL-4A橢圓偏振測厚儀
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高校物理實驗儀器,光譜應用分析儀器
手動橢圓偏振測厚儀使用消光法測量薄膜厚度和折射率,手動調節測試過程中的起偏和檢偏角度,橢圓偏振法廣泛地應用于固體基片上介質薄膜的測量;在己有測定薄膜厚度的方法中,它是能測量到和精度的一類。
測量范圍
1nm-300nm
測量最小值
≤1nm
入射角
30°-90°誤差小于等于0.1°
讀數范圍
0°-180°
工作臺直徑
70mm
中心高度
152mm
度盤刻度
每格2°
最小讀數
0.05°
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