SIMCO思美高 高效能的離子棒 5635 (M) 

SIMCO思美高 高效能的離子棒 5635 (M) 

MCO 思美高高效能離子棒 5635（M）是一款專為半導(dǎo)體等超潔凈制造工藝設(shè)計(jì)的靜電消除設(shè)備。它采用調(diào)制脈沖（MP）技術(shù)，能在快速消除靜電的同時(shí)，滿足低擺動(dòng)電壓和精確平衡的要求，且無金屬外露，可避免金屬污染。相關(guān)介紹如下：

工作原理：利用 MP 技術(shù)，將高頻正弦波與調(diào)制脈沖相結(jié)合，以實(shí)現(xiàn)高離子輸出和輸送，可產(chǎn)生大量正負(fù)離子，中和物體表面靜電。

性能參數(shù)：輸入電壓：24VDC±10%。

輸出電壓：13.5kVp-p（最大），可調(diào)。

工作距離：距表面 150-1000mm，具體取決于應(yīng)用和客戶規(guī)格。

頻率：默認(rèn)設(shè)置為 5Hz，可在 1-33Hz 范圍內(nèi)調(diào)整。

離子平衡：自動(dòng)平衡系統(tǒng)，在棒的長(zhǎng)度范圍內(nèi)及一段時(shí)間內(nèi)＜±20V（在受控環(huán)境中 24 英寸距離處測(cè)量）。

電離清潔度：符合 ISO 14644-12 清潔度（0.01µm 顆粒或納米顆粒）和 ISO 14644 1 級(jí)（0.1µm 顆粒）。

氣流：最大氣體壓力 45psi；通過 8mm 外徑的一觸式接頭，每個(gè)噴嘴為 1-3.5lpm（可選）。

產(chǎn)品特點(diǎn)：潔凈度高：采用超清潔單晶硅發(fā)射點(diǎn)，配合精確調(diào)整，可提供高潔凈度，滿足半導(dǎo)體等高精度工藝要求。

均勻性好：具有出色的橫向均勻性，可在整個(gè)離子棒長(zhǎng)度上提供均勻的離子平衡。

安裝靈活：可安裝在距離晶圓 150mm 以內(nèi)，能在靠近目標(biāo)物體的位置工作，且可通過 DIP 開關(guān)設(shè)置電源級(jí)別，快速激活出廠設(shè)置，便于安裝和調(diào)試。

可空氣輔助：可選配空氣輔助功能，加速離子輸送，在更遠(yuǎn)距離上實(shí)現(xiàn)更快的放電時(shí)間和更好的性能。

具備報(bào)警功能：有報(bào)警輸出信號(hào)，可與工具或設(shè)施監(jiān)控系統(tǒng)通信，及時(shí)反饋設(shè)備運(yùn)行狀態(tài)。