| 應用領域 | 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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瑞士VAT真空閘閥板96603-01
1. 基礎信息
原廠零件號：96603-01
適用閥門型號：VAT 96600系列高真空閘板閥
材質：不銹鋼316L（電解拋光EP級）
表面處理：Ra≤0.1μm（鏡面拋光）
2. 核心參數
| 參數 | 規格 |
|---|---|
| 尺寸 | 適配DN160（6.3"）閥門 |
| 厚度公差 | ±0.005mm |
| 平面度 | ≤0.01mm/m |
| 真空密封等級 | ≤1×10?? mbar·L/s（配合金屬密封圈） |
| 耐溫范圍 | -270℃~+450℃（全金屬密封配置） |
3. 結構特點
雙面密封設計：
主密封面：錐形金屬密封（銅或不銹鋼）
次級密封：可選彈性體密封（如VITON®）
導向系統：
精密直線導軌（摩擦系數<0.001）
驅動接口：
標準適配VAT氣動執行器（如96100系列）
4. 兼容閥門型號
| VAT閥門系列 | 具體型號示例 |
|---|---|
| 96600 | 96603, 96606, 96610 |
| 96800 | 96803（需確認尺寸） |
5. 安裝與維護
安裝步驟：
清潔閥腔（使用無塵布+高純酒精）
預裝密封圈（需專用安裝夾具）
閥板插入后手動測試滑動阻力（應≤5N）
扭矩要求：
法蘭螺栓扭矩：20~25 Nm（ISO-KF160）
6. 使用壽命指標
| 工況 | 預期壽命 |
|---|---|
| 常溫高真空（<10?? mbar） | ＞10?次循環 |
| 高溫（300℃） | 約5×10?次循環 |
| 等離子體環境 | 需每5×10?次檢查磨損 |
7. 磨損檢測方法
光學檢測：
使用白光干涉儀測量密封面劃痕（深度≤0.5μm為安全）
性能測試：
氦質譜檢漏（閥板閉合狀態下≤1×10?? mbar·L/s）
8. 替代方案對比
| 品牌/型號 | 差異點 |
|---|---|
| VAT 96603-01-M | 鍍金密封面（耐腐蝕+導電） |
| Pfeiffer PGV 160 | 兼容但需修改執行器接口 |
| 國產仿制件 | 成本低60%，壽命約40%原廠 |
該閥板需配合 VAT 229310系列密封圈 使用。對于半導體設備，建議每2年或10?次循環強制更換。定制版本（如鍍鋁氮化硅涂層）交貨期需額外增加8周。
瑞士VAT真空閘閥板96603-01
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