自動檢測 晶圓檢測顯微鏡專為半導體行業設計，旨在提供高效、精準且全面的晶圓檢測解決方案。它集成了多個精密模塊，包括XY手動/電動運動臺、Z軸運動臺、物鏡模組、光源模組、晶圓放置模組、成像觀察模組、遠程控制手柄、主動對焦模組、缺陷標記模組以及晶圓搬運模組等，共同構成了一個強大的檢測系統。

XY手動/電動運動臺
該運動臺確保了大范圍內的精準定位，其XY軸精度高達≤2 μm，行程范圍為205 mm * 205 mm。同時，配備的離合器手柄支持快速移動，顯著提高了操作效率。

Z軸運動臺
Z軸運動臺采用了雙控系統，同時具備電傳手輪和碼盤，能夠實現微調精度≤1 μm和行程≥36 mm，滿足高精度調焦的需求。

物鏡模組
通過與蔡司合作，該顯微鏡采用了原裝手動/電動物鏡切換裝置，兼容多種高質量物鏡，如EpiPlan消色差物鏡、EPN半復消色差物鏡及EPA復消色差物鏡，從而提供清晰且無畸變的圖像。

光源模組
提供5W和10W兩種LED透射式光源選項，能夠滿足不同的照明需求，確保圖像具備良好的亮度和對比度。

晶圓放置模組
載物臺設計靈活，可兼容4英寸、6英寸和8英寸的晶圓片，并且保留了透射光路，支持液晶面板的檢測工作。

成像觀察模組
該模組適配蔡司Axiocam系列相機和海康威視系列相機，同時可選配蔡司目鏡。它支持明場/暗場、微分干涉、熒光和偏光等多種觀察方式，為檢測提供了更多可能。

遠程控制手柄
這是一個高度集成的控制中心，將物鏡切換、光強控制、照明切換、Z軸聚焦、XY運動軸遙感、缺陷標記和主動對焦等功能集于一身，實現了便捷的一鍵式操作。

主動對焦模組
兼容的主動對焦模組能在50×物鏡下實現實時對焦，確保觀察到的圖像始終保持清晰狀態。

缺陷標記模組
兼容的缺陷標記模組可以對樣品上的缺陷部分進行實時標記，極大地方便了后續的分析和處理工作。

晶圓搬運模組
兼容的晶圓搬運模組能夠實現晶圓片的自動上下料，有效提升了整體的生產效率。

這款自動檢測晶圓檢查顯微鏡具有顯著的產品優勢：

高精度：各運動軸及物鏡切換裝置均具備高精度性能，這是保證檢測結果準確可靠的基礎。

多功能：集成的多種觀察方式和輔助功能，能夠滿足多樣化的檢測需求。

易操作：人性化的遠程控制手柄設計，使得操作過程簡便快捷。

兼容性強：它可以兼容多種尺寸的晶圓片和相機設備，適應性強，能夠靈活應對不同的應用場景。

應用領域

憑借其性能，該自動檢測 晶圓檢測顯微鏡廣泛應用于半導體制造、液晶面板檢測以及材料科學研究等需要精密檢測的領域，為相關行業提供了有力的技術支持。