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瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元

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應用領域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元

1. 產品概述

  • 型號:VAT 95.3

  • 類型:集成式高真空閥組(控制閥+隔離閥組合)

  • 品牌:VAT Group(瑞士真空技術專家)

  • 設計理念:緊湊型模塊化設計,減少管路連接點,提升系統可靠性

  • 典型應用:半導體刻蝕/沉積設備、光伏鍍膜系統、科研真空裝置


2. 核心組成與配置

組件技術特性
主控制閥VAT 54.1系列金屬密封角閥(漏率<1×10?? mbar·l/s)
隔離閥VAT 10.4系列閘閥(快開型,響應時間<100ms)
集成法蘭ISO-KF/CF標準,可選DN40~200口徑
傳感器接口預留真空計/壓力傳感器安裝位(支持Pirani/電容式)
控制模塊可選本地PLC或遠程通信(PROFIBUS/DeviceNet)

3. 關鍵性能參數

參數指標測試標準
真空范圍10?? mbar ~ 大氣壓DIN 28400
整體漏率<5×10?? mbar·l/s氦質譜檢漏
溫度適應性-20°C ~ +150°C(烘烤兼容)SEMI F47
材料兼容性316L不銹鋼+Al?O?鍍層(耐等離子體)ASTM G31
循環壽命>10?次(主閥)MIL-STD-810G

4. 技術優勢

① 系統集成優化

  • 減少傳統分立閥門間的連接法蘭,漏率降低50%

  • 內置流道優化設計,流阻系數降低30%

② 智能控制功能

  • 可選配閥位傳感器(精度±0.5%)

  • 支持壓力-流量閉環控制(需搭配MFC)

③ 維護便捷性

  • 模塊化設計,單個閥門更換時間<30分鐘

  • 正面維護接口,無需拆卸整個真空腔室


5. 半導體行業應用案例

設備類型功能實現VAT 95.3定制方案
等離子刻蝕機工藝腔室壓力分段控制增加WF?專用鍍層
ALD系統前驅體氣體脈沖注入集成快速響應閥(<30ms)
離子注入機束線真空隔離無磁化材料版本

6. 安裝與調試指南

安裝規范

  1. 使用激光對中儀確保安裝平面度<0.1mm/m

  2. 所有螺栓按十字交叉順序緊固(扭矩值見下表)

法蘭規格扭矩值(Nm)緊固順序
ISO-KF DN638~10對角線漸進
CF 4.5"15~18星型模式

調試流程

  1. 初始抽真空至10?3 mbar,保壓測試24小時

  2. 進行50次空載循環測試

  3. 校準壓力傳感器零點


7. 維護計劃

維護項目周期操作規范
密封面檢查每季度使用VAT專用內窺鏡(P/N:INS-100)
潤滑脂更換每10?次循環使用VAC-LUBE 200特種潤滑脂
全面性能檢測年度需原廠認證工程師執行

瑞士VAT95.3 - 高真空控制和隔離閥組合單元



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