| 應用領域 | 能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣,綜合 |
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配備LINTEC的環境溫度補充質量流量傳感器，在±1%F.S.精度范圍內減少壓力損失。
配備的高性能壓電控制閥，即使在低壓差壓力環境下也能實現穩定、精確的流量控制。
日本LINTEC林泰克 低壓差環境流量控制器 MC-3102S
日本LINTEC林泰克 低壓差環境流量控制器 MC-3102S
特征
低壓差 （800Pa）
工作溫度：5~50°C
金屬密封件
無塵生產（顆粒標準監測）
環境溫度輔助傳感器
RS-485 數字通信接口
可選規格
微流量 FS
使用案例
低溫環境下低蒸氣壓氣體的流量控制
MC-3000S系列是LINTEC開發的具有壓力損失結構的質量流量控制器，即使在室溫下，當二次側處于真空狀態時，也可以控制H2O等液體原料的流量。 建議使用將少量水蒸氣輸送到真空室的ITO濺射方法。 此外，即使在室溫下，即使是低蒸氣壓的固體原料，如XeF2，也可以進行流量控制。
減壓罐容器（SDS 容器）的流量控制。
離子注入設備使用AsH3、PH3等特殊材料氣體，常使用安全輸送源（SDS）容器，以實現安全穩定的輸送。 充注SDS的罐體壓力低于大氣壓，需要與低壓差環境相對應的MFC。 MC-3000S系列產品具有低壓差結構，可以滿足這一需求。
規格表
| 溫度 | 最小壓差 | 最大壓差 | 精度 | 控制范圍 | 敏 F.S. | 馬克斯 F.S. | 海豹 |
| 5~50°C | 800帕 | 133kPa | ±1%FS | 2~100%F.S. | 2SCCM | 30SCCM | 金 |
*此表僅顯示一般規格的 MFC。 根據可選規格而有所不同。
■簡 介
●MC-3000S系列是利用LINTEC開發的低壓損設計， 針對低壓差環境的質量流量控制器
■特 點
●開發的低壓損構造，可在6Torr低壓差的環境下,控制10SCCM(N2 )的流量
●可運用在AsH3和PH3雜質摻入制程，亦可控制未加熱的XeF2或H2 O等固體、液體
●采用標準RS-485數字通訊接口
●搭配LINTEC的環境溫度補償式質流傳感器
●內置微處理器提高處理效能
●控制閥由具有極小閉死容積的隔膜閥構造所組成
●采用高速度，高性能的壓電控制閥
●使用耐久性高、密閉性高的金屬密封件,維護性提高
●采用金屬外殼以及各種濾波器，在高磁噪音及直流磁場的環境下亦能維持其安定性
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