INFICON英福康電容膜片真空計（CDG025D-X3）

抗腐蝕性的超純陶瓷傳感器具有很好的零點穩定性和預計數百萬次壓強周期(包括大氣沖擊)的長使用壽命。特別的傳感器屏蔽保護真空計免受過程污染。堅固耐用的機械設計和數字電子設備改善了EMC兼容性、長期穩定性和溫度補償。CDG025D為電源接通后的快速穩定與暴露大氣壓后的快速恢復等特性設定了新標準。

在對精度和可靠性要求很高的應用中，INFICON SKY 推出了 CDG025D-X3 電容式隔膜真空計，這是一款用于壓力測量和控制的頂級產品。這款壓力表將數十年的經驗與先進的技術相結合，在業內樹立了很高的標準。

高精度溫度補償： CDG025D-X3 采用先進的溫度補償技術。這確保了儀器即使在惡劣條件下也能提供可靠、準確的測量。

耐腐蝕陶瓷傳感器具有出色的零點穩定性，使用壽命長達數百萬次壓力循環，包括大氣爆破。

先進的數字電子元件： 這款壓力表的電子元件不僅是先進的，而且還提供了一系列令人印象深刻的功能。一鍵歸零和設定點調整功能提高了使用的便捷性。

INFICON英福康電容膜片真空計（CDG025D-X3）

最新 SKY® 技術

長壽命陶瓷傳感器： 耐腐蝕的超陶瓷傳感器使壓力表具有出色的長期信號穩定性和數百萬次壓力循環的預期壽命，即使在大氣壓力下降時也是如此。

此外，傳感器防護罩可保護壓力表免受工藝污染。這一點在半導體生產設備等典型應用中尤為重要，特別是在蝕刻、CVD、PVD 和 ALD 等工藝中。CDG025D-X3 也非常適合數據存儲和顯示制造設備、工業真空工藝設備以及需要高精度的一般壓力測量。

特質和優勢

在當今的工業環境中，電磁干擾可能是一個嚴重的問題，CDG025D-X3 在設計時充分考慮了電磁兼容性。此外，CDG025D-X3 還具有出色的長期穩定性和溫度補償功能，可確保多年的可靠性能。

此外，CDG025D-X3 還具有開機后快速穩定和暴露于大氣壓力后同樣快速恢復的特性，是要求苛刻的工業應用中必需的儀器。它不僅僅是一個真空計，更是真空測量技術領域質量和創新的象征。

優勢

l全量程范圍為 100 mTorr ... 1000 Torr

l通電后快速穩定

l從大氣壓快速恢復

l耐腐蝕陶瓷傳感器

l出色的長期信號穩定性

l溫度補償

l傳感器雙重保護，防止污染

l一鍵歸零功能

l寬范圍電源

l2 個設定點

lRS232 接口

l符合無塵室標準

典型應用

l用于蝕刻、CVD、PVD、ALD 的半導體制造設備

l數據存儲和顯示制造設備

l工業真空設備

l一般高精度壓力測量

杭州域勢科技有限公司專注于為工業及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測及控制相關的技術服務及解決方案，公司代理經銷美國ALICAT、瑞士Vogtlin、美國MKS、日本EBARA等品牌，結合代理的產品為客戶提供優質的流量及壓力監控解決方案，旨在提高客戶的研發及生產效率、改進客戶制造工藝、推動客戶科研及創新進度。