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化工儀器網>產品展廳>半導體行業專用儀器>熱工藝設備/熱處理設備>退火爐>RTP-100 德國UniTemp真空快速退火爐

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RTP-100 德國UniTemp真空快速退火爐

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    深圳市宏騰半導體技術有限公司是一家專業的微納材料、半導體和微電子材料、器件研發及技術服務的供應商。深圳市宏騰半導體技術有限公司所服務的客戶覆蓋高校、研究所、以及半導體和微電子領域的高科技企業。

  主要產品包括:一、鍍膜設備:電子束蒸發、分子束外延、原子層沉積系統、化學沉積設備、激光脈沖沉積、光浮區爐

二、測試設備:霍爾效應測試儀、鐵電測試儀、低溫探針臺 、開爾文探針、深能級瞬態譜儀

三、工藝設備:快速退火爐、回流焊爐、共晶爐、離子注入機、光刻機、電子束光刻機、刻蝕機

四、封裝設備:半自動劃片機、裂片機、貼片機、鍵合機

五、分析測試設備:

          1)形貌表征:原子力顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、掃描透射電鏡,球差電鏡等;

           2)原子結構:低能電子衍射、反射式高能電子衍射、X射線衍射等;

           3)化學分析:X射線光電子能譜、俄歇電子能譜、二次離子質譜等;

           4)原子/電子態:電子能量損失譜、紫外光電子譜、紅外譜、拉曼譜,角分辨光電子能譜等。

六、磁性測量:綜合物性測量儀、軟硬磁測量系統、振動樣品磁強計

  主營業務:1.微電子中試線和實驗室規劃、設備選型、layout設計及咨詢。

          2.真空鍍膜、測試設備互連系統定制化(原位)。

          3.光電表征設備國產化:NAP-XPS、PEEM、NAP-STM及ARPES等。

          4.設備維護保養、維修及改造。

          5.實驗室整體搬遷及儀器調試。

          6.微電子工藝、測試、表征設備研發和銷售。

         微電子及半導體客戶一站式服務!






半導體設備、真空鍍膜、測試設備互連系統定制化;光電表征設備國產化:NAP-XPS、PEEM、PPMS、NAP-STM及EBL等

RTP-200快速退火爐為德國優尼坦公司生產,分為RTP-100,RTP-150,RSO-200,VPO-300共四個型號,分別對應4英寸、6英寸、8英寸、12英寸的真空快速退火爐產品。

8寸快速退火爐/德國UniTemp技術規格:

- 溫度:1200攝氏度;

- 升溫速率:150攝氏度/秒;

- 降溫速度:200攝氏度/分鐘 (1000攝氏度-->400攝氏度);

- 溫控均勻性:≤1.5%設定溫度;

- 加熱方式:紅外鹵素燈,頂部及底部加熱;

- 燈管數量及功率:18支/20千瓦(RTP-100),24支/21千瓦(RTP-150);

- 腔體冷卻:水冷方式;

- 襯底冷卻:氮氣吹掃;

- 工藝氣路:MFC控制,最多4路 (氮氣、氬氣、氧氣、氫氮混合氣等);

- 主機尺寸及重量:505mmx504mmx420mm (WxDxH),約55Kg。

8寸快速退火爐/德國UniTemp特點:

- 真空快速退火爐,有低真空型號(10-3hPa)、高真空型號(10-6hPa);

- 可在不同氣氛環境下使用,如惰性氣體、氧氣、氫氮混合氣等;

- 控制方式:SIMATIC,SPS人機界面控制,7英寸觸摸屏;

- 可存儲50個程序,每個程序最多分為50段控制;

- 全自動智能控制,包括溫度、時間、氣體流量、真空度、循環水均可自動設置;

- 優異的溫控均勻性,工藝重現性;

- 小尺寸臺式設計。

應用領域:

- 離子注入/接觸退火;

- 快速熱處理(RTP),快速退火(RTA),快速熱氧化(RTO),快速熱氮化(RTN);

- 可在真空、惰性氣氛、氧氣、氫氣、混合氣等不同環境下使用;

- SiAu,SiAl,SiMo合金化;

- 低介電材料;

- 晶體化,致密化;

- 太陽能電池片鍵合。



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