CY-PLZ180-I-DC-Q 單靶等離子濺射鍍膜儀(增強型)
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- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-PLZ180-I-DC-Q
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/30 19:02:14
- 訪問次數 31
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技術參數:
產品名稱 | 單靶等離子濺射鍍膜儀(增強型) | |
產品型號 | CY-PLZ180-I-DC-Q | |
樣 品 臺 | 尺寸 | 100mm |
旋轉速度 | 1~20rpm可調 | |
加熱溫度 | ≤500℃ | |
控溫精度 | ±1℃ PID控溫 | |
等離子濺射靶 | 數量 | 2英寸x1 |
冷卻方式 | 水冷 | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm X 300mm |
觀察窗口 | 全向可視 | |
腔體材料 | 高純石英 | |
開啟方式 | 頂蓋拆卸式 | |
上下蓋材質 | 304不銹鋼 | |
抽氣接口 | KF25 | |
進氣接口 | 1/4英寸卡套接頭 | |
電源配置 | 數量 | 直流電源x1 |
輸出功率 | *大150W | |
濺射電源 | 3000V | |
*大濺射電流 | 50mA | |
真空系統 | 真空泵類型 | 雙極旋片真空泵 |
抽氣接口 | KF25 | |
排氣接口 | KF16 | |
抽氣速率 | 1.1L/s(4m3/h) | |
極限真空度 | ≥1Pa | |
真空測量 | 電阻真空規 | |
其他 | 供電電源 | AC 220V 50Hz |
整機功率 | 2kW | |
整機尺寸 | 570mm X 450mm X550mm | |
整機重量 | 30kg |