CY-MSZ180PX-I-DC-Q 桌面型偏壓單靶磁控濺射鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-MSZ180PX-I-DC-Q
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/30 23:52:42
- 訪問次數 14
聯系方式:張經理13938563701 查看聯系方式
聯系我們時請說明是化工儀器網上看到的信息,謝謝!
本設備為帶偏壓的桌面型單靶磁控鍍膜儀,可用于一般金屬薄膜的制備。設備同時配有偏壓電源,可以用來進行進行濺射前的等離子清洗和濺射過程中施加偏壓。
本套配置采用石英真空腔體,鍍膜過程全向可視,便于實驗的觀察記錄,腔體設計開啟方便,易于清理,十分適合實驗室使用。同時設備配有旋轉加熱樣品臺,可以有效提高薄膜的均勻性和成膜的質量。整機采用模塊化設計,操作邏輯簡單,操作界面直觀,利于上手。
單靶磁控鍍膜儀技術參數:
產品名稱 桌面型偏壓單靶磁控濺射鍍膜儀 產品型號 CY-MSZ180PX-I-DC-Q 樣品臺 外形尺寸 φ100mm 加熱溫度 ≦500℃ 可調轉速 ≦20rpm 磁控靶槍 配一支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm 真空腔體 腔體尺寸 φ180mm X 215mm 觀察窗口 全向透明 腔體材料 高純石英 開啟方式 上蓋拆卸式 真空系統 前級泵 低噪音雙極旋片泵 分子泵 低噪音大抽速渦輪分子泵 真空測量 復合真空計,量程:10-5~105Pa 抽氣接口 KF16 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 系統真空 1.0×10-4Pa 供電電源 AC 220V 50/60Hz 抽氣速率 分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s 電源配置 電源數量 射頻電源一套 輸出功率500 其他參數 供電電壓 AC220V,50Hz 整機功率 2kW 整機尺寸 550mm X 350mm X400mm
500W
相關分類
該廠商的其他產品
- CY-MSZ180-I-DC-SS? 光纖繞絲單靶磁控濺射鍍膜儀
- CY-MSZ180-I-DC-SS? 單靶磁控光纖繞絲濺射鍍膜儀
- CY-MSH300-III-DCDCRF-SS 非導電薄膜等離子磁控濺射鍍膜儀
- CY-MSH300-III-DCDCRF-SS? 三靶磁控濺射鍍膜儀(直流+射頻)
- CY-MSH300-III-DCDCDC-SS 三靶磁控濺射鍍膜儀(直流)
- CY-MSH300-III-RFRFRF-SS 三靶磁控濺射鍍膜儀(射頻)
- CY-MSV325- II-DCRF-SS 雙靶磁控濺射鍍膜儀(雙膜厚儀)
- CY-MSV325- II-DCDC-SS 雙靶磁控濺射鍍膜儀(直流+射頻)