CY-MSZ180-I-DC-Q 桌面型單靶磁控鍍膜儀(鍍鋁型)
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- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-MSZ180-I-DC-Q
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/30 23:57:03
- 訪問次數 14
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技術參數:
產品名稱 | 桌面型單靶磁控鍍膜儀(鍍鋁型) | |
產品型號 | CY-MSZ180-I-DC-Q | |
樣品臺 | 外形尺寸 | φ100mm |
加熱溫度 | ≦500℃ | |
可調轉速 | ≦20rpm | |
磁控靶槍 | 配兩支兩英寸磁控靶,靶材尺寸:直徑50.8mm,厚度≦3mm | |
真空腔體 | 腔體尺寸 | φ180mm X215mm |
觀察窗口 | 全向透明 | |
腔體材料 | 高純石英 | |
開啟方式 | 上蓋拆卸式 | |
真空系統 | 前級泵 | 低噪音雙極旋片泵 |
分子泵 | 低噪音大抽速渦輪分子泵 | |
真空測量 | 復合真空計,量程:10-5~105Pa | |
抽氣接口 | KF16 | |
抽氣接口 | KF40 | |
排氣接口 | KF16 | |
系統真空 | 1.0×10-4Pa | |
供電電源 | AC 220V 50/60Hz | |
抽氣速率 | 分子泵抽速600L/s,前級泵抽速1.1L/s | |
電源配置 | 電源數量 | 直流電源一套 |
輸出功率 | 500W | |
其他參數 | 供電電壓 | AC220V,50Hz |
整機功率 | 2kW | |
整機尺寸 | 550mm X 350mm X400mm |
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