CY-MSZ180-I-DC-Q 桌面型單靶磁控鍍膜儀
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-MSZ180-I-DC-Q
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/30 23:58:12
- 訪問次數 43
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技術規格:
桌面型單靶磁控鍍膜儀 產品型號 CY-MSZ180-I-DC-Q 樣品臺 尺寸 φ100mm 加熱 *高500℃ 轉速 0-20可調 磁控濺射靶 數量 2” x1 真空腔體 腔體尺寸 φ180mm X 215mm 觀察窗口 全向透明 腔體材料 高純石英 開啟方式 上蓋拆卸式 真空系統 機械泵 旋片泵 分子泵 渦輪分子泵 真空測量 電阻規+電離規 抽氣接口 KF16 抽氣接口 KF40 排氣接口 KF16 極限真空 1.0E-4Pa 供電電源 AC 220V 50/60Hz 抽氣速率 機械泵1.1L/s 分子泵600L/s 電源配置 數量 直流電源 x1 *大輸出功率 直流電源300W 其他 供電電壓 AC220V,50Hz 整機功率 2kW 整機尺寸 550mm X 350mm X400mm
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