CY-PECVD-50R-1200-Q 單溫區旋轉PECVD石墨烯制備系統
- 公司名稱 鄭州成越科學儀器有限公司
- 品牌
- 型號 CY-PECVD-50R-1200-Q
- 產地
- 廠商性質 生產廠家
- 更新時間 2025/7/31 11:43:04
- 訪問次數 12
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單溫區旋轉PECVD石墨烯制備
單溫區旋轉PECVD,安裝有真空自動投料器,爐管尾部預留KF40接口可以連接收料罐。投料器采用螺桿進料,可以以額定的速率將粉料送入爐管,投料速率可通過調節轉速來更改。可實現在氣氛保護的環境下連續對粉末材料用PECVD方法進行包裹和修飾。收料罐可以在氣氛保護環境下對處理好的料粉進行收集。
設備配有100W頻率13.56MHz的視頻電源。能夠在真空中產生等離子體。高能等離子體能夠活化樣品表面,有效的增強反應效果,提高反應速率,這種輔助方法廣泛用于石墨烯制備,顆粒包覆等科學實驗上。
本設備特別適合顆粒型樣品實驗,通過機械傳動能夠控制工作管360°不間斷連續旋轉,轉速可調,使得管內物料不斷的被攪拌混合,充分與氣體和等離子體接觸,使樣品的反應更加均勻穩定。
技術參數:
射頻電源
| 輸出功率 | 150W |
輸出精度 | ±1% | |
射頻頻率 | 13.56MHz | |
射頻穩定度 | ±0.005% | |
冷卻方式 | 風冷 | |
1200℃單溫區管式爐
| 供電電壓 | AC220V,50Hz |
*大功率 | 2KW | |
加熱溫區 | 單個溫區200mm | |
工作溫度 | *高1200℃,連續運行溫度應≤1100℃ | |
控溫精度 | ±1℃ | |
控溫方式 | AI-PID 30段工藝曲線,可存儲多條 三溫區獨立控制,帶有過熱和斷偶保護 | |
爐管材質 | 高純石英 | |
爐管尺寸 | φ50x800mm | |
密封方式 | 真空不銹鋼法蘭、KF16法蘭 | |
可調轉速 | 0-20rpm | |
傾斜角度 | 0-15° | |
真空泵 | 旋片機械泵 | |
極限真空度 | 1.0E-1Pa | |
進料方式 | 真空漏斗加螺桿進料 |