林泰克(Lintec)的RAD-2500系列是專為半導體研磨制程設計的晶圓貼合機,主要用于表面保護膠帶的剝離作業,其核心功能和技術特點如下1:
?? 主要功能與技術特點
?研磨保護膠帶剝離?
與RAD-3000系列研磨用膠帶撕片機協同工作,實現晶圓表面保護膠帶的無損剝離,避免晶圓在研磨后因翹曲或外力導致破損1。
采用熱壓技術,無論保護膠帶的材質類型,均能確保緊密黏著并完整剝離膠帶,同時提供黏著型離型膜作為備選方案1。
?膠帶適配性?
適配多款專用膠帶:包括紫外硬化型E Series、通用型P Series,以及剝離專用的S Series膠帶,滿足不同制程需求1。
?? 設備定位與關聯機型
?應用場景?:聚焦于晶圓薄化后的表面處理環節,屬于研磨制程配套設備,而非芯片封裝環節的貼片機(Die Bonder)1。
?技術延伸?:林泰克后續推出的RAD-3520F/12(研磨膠帶貼合機)和RAD-2510F/12(三合一UV照射/貼片/剝離設備)進一步優化了效率與良率,例如RAD-3520F/12體積縮小30%,單位產能提升15%2。
?? ?需注意概念區分?
RAD-2500屬于?晶圓表面處理設備?,與芯片封裝環節的?貼片機(固晶機)? 功能不同。后者用于將芯片從晶圓拾取并貼裝至基板(如ASM、Datacon等品牌設備),精度需達微米級(±1–5μm),單位產能以每小時千片(K UPH)計