英福康INFICON  半導體殘余氣體分析儀

英福康INFICON  半導體殘余氣體分析儀

 Transpector® XPR 3+

質譜儀Transpector® XPR 3+

擴大的壓力范圍 RGA - 傳感化創新

監測并控制快速過程變化

新的 Transpector XPR 3+ 殘余氣體分析儀 (RGA) 提供 的測量速度，以監測并控制現代半導體和顯示屏生產所需的快速過程變化。Transpector XPR 3+ 非常適合于現場空氣漏點、氣體純度、碳氫化合物和污染監測。相比定期上升率測試，Transpector XPR 3+ 進行的實時測量可提供 的產品保護

通過 工具使用時間促進盈利能力

Transpector XPR 3+ RGA 是用于濺射壓力范圍應用的經實踐驗證的四極和雙離子源傳感器。無需壓力轉換設備，部件使用壽命長，能快速檢測并診斷問題，從而 工具可用性、產品吞吐量和產量。傳感器可在高真空到 20 mTorr 范圍連續工作，無需泵。Transpector XPR 3+ 雙離子源腔室設計用于限制涂層，以保持離子源靈敏度，并延長傳感器平均維護時間。

優勢

從高真空到 PVD 流程壓強條件下，能夠高靈敏度地檢測空氣泄漏和污染，實時保護晶圓和面板

  PM 效率和工具正常使用時間，具有快速可靠的腔室條件

通過延長使用壽命、防污染、雙離子源設計最小化總體擁有成本；無需泵，即可監測高達 20 mTorr 的壓強。低壓 EM 變體可提供成本敏感的替代選擇

通過強大數據采集與同步實現無縫工廠集成和可靠阻斷

通過定制配方優化增強 生產能力

通過即時現場專家響應保護關鍵過程需求

典型應用

PVD 和濺射過程模塊

預清洗模塊

非群集 PVD 工具

夾鉗式除氣模塊

技術規格

質量位置穩定性 <0.1 amu over 24 hours 

  靈敏度（FC 模式） ≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar) 

  靈敏度（標稱） ≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar) 

  最小可檢測分壓（FC 模式） ≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar) 

  最小可檢測分壓（EM 模式） ≤6E-12 Torr (8E-12 mbar) 

  最大工作壓力（FC 或 EM 模式） 20 mTorr (2.6E-2 mbar) 

  最大工作壓力（線性操作） 10 mTorr (1.3E-2 mbar) 

下載

選擇語言

                             所有語言                                                                                                                                    中文                                                                                                                                                                    英文                                                                                      

手冊

Transpector XPR 3+ Brochurepdf•1,5 MB•英文•手冊

手冊

3D Step Files

該產品被用于以下市場

分析儀器

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電池

從電極生產到生產線終端EOL終端的測試

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顯示器

INFICON匯聚 科技，實現*高質量的顯示器產品

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能源

傳統的石油和天然氣生產在過去幾十年中出現了需求的增長，并被發展中國家的人口增長、城市化和中產階級的消費所推動。

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工業制造

其中，真空技術大多用于保證清潔的環境，并且在某些過程中需要維持真空以確保過程順利實施。

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移動和汽車

在一個不斷發展的行業中進行可靠的泄漏測試 。 汽車行業的變化使泄漏檢測變得更加重要。

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醫藥和醫療

提高生產力，幫助滿足制藥業的合規標準和質量要求

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研究與學術

通過基礎研究揭開宇宙最深層的神秘面紗。今天的創新為您明天的技術研發提供動力

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半導體IDM和晶圓代工廠

為支持廣泛的應用而定制的傳感器，確保產品安全、提高產量和*高生產力。

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真空鍍膜

真空鍍膜市場遠遠超出了光學領域，正在迅速擴展到十年前幾乎無法想象的領域、行業和薄膜層。

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應用

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公司

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SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學、NIPPON GEAR日本齒輪

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