進(jìn)口 INFICON英???CDG160D 電容薄膜真空計
參考價 | ¥ 8800 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱 山金工業(yè)(深圳)有限公司
- 品牌 INFICON/美國
- 型號 進(jìn)口
- 產(chǎn)地 日本大阪
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2025/8/7 18:56:20
- 訪問次數(shù) 13
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產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 化工,建材/家具,電子/電池,電氣,綜合 |
---|---|---|---|
質(zhì)量范圍 | 1-512 amu | 桿材料 | 鉬 |
最大工作壓力 (EM) 最大工作壓力 (EM) | 1 E-5 mbar | 軸離子源 | 3E-4 A/mbar |
橫束離子源 | 7E-5 A/mbar | 交叉光束氣密離子源 | 7E-5 A/mbar |
帶磁鐵的橫束離子源 | 7E-4 A/mbar | 帶磁鐵的交叉光束氣密離子源 | 7E-4 A/mbar |
網(wǎng)格離子源 | 2E-4 A/mbar | 分辨率(可調(diào)) | 0.3 - 7 amu |
最小可檢測部分壓力 | 1 E-15 mbar | 帶電子倍增器的分壓比 | < 0.5 ppb |
最高工作溫度 工作溫度(傳感器和電子元件) | 150 °C | 測量速度 | 0.125 ms - 60 s/amu |
INFICON英???CDG160D 電容薄膜真空計
INFICON英???CDG160D 電容薄膜真空計
SKY® CDG160D
電容式壓力計SKY® CDG160D
160°C 溫控,滿量程 1 ... 1000 Torr / mbar
嵌入式選項
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INFICON SKY CDG160D 高溫壓力計是實現(xiàn)精確總壓測量與控制的理想之選。CDG160D 真空計溫度控制在 160 °C,具有 的性能,適用于苛刻的半導(dǎo)體和等離子過程。在 1 Torr 至 1000 Torr 滿刻度范圍內(nèi)均可使用,帶有所有常用類型的法蘭和現(xiàn)場總線接口,能夠提供 0 至 10 V、不受氣體類型限制的對數(shù)壓力信號。INFICON 電容式壓力計采用超純氧化鋁陶瓷隔膜,具有防腐蝕性。陶瓷傳感器具有信號穩(wěn)定性更佳、從大氣恢復(fù)的速度更快、預(yù)熱時間短和使用壽命長等諸多優(yōu)勢。INFICON CDG 壓力傳感器品質(zhì) 成本效益,適用于苛刻的半導(dǎo)體、等離子和真空應(yīng)用。
優(yōu)勢
擁有成本更低,預(yù)熱速度快 50%,節(jié)能,低功耗
易于集成,各種滿刻度、法蘭和接口,標(biāo)配兩個設(shè)定點
輕松一鍵歸零或遠(yuǎn)程信號歸零指令,可調(diào)零點偏移
診斷端口便于快速服務(wù)與維護(hù)
兩年保修服務(wù)、加熱概念和真空計保護(hù)延長了使用壽命
的信號穩(wěn)定性和可重復(fù)性,即使是最嚴(yán)苛的等離子應(yīng)用,都無需長期執(zhí)行重新校準(zhǔn)
合規(guī)和標(biāo)準(zhǔn):CE、EN、UL、SEMI、RoHS
典型應(yīng)用
蝕刻、CVD、PVD 及其他半導(dǎo)體生產(chǎn)過程
化學(xué)和腐蝕性高溫過程
需要真空計保護(hù)的一般薄膜和真空過程
技術(shù)規(guī)格
1000 ... 500 Torr / mbar
200 ... 1 Torr / mbar
精度 % of reading 0.4
分辨率 percent FS 0.003
輸出信號(模擬) V (dc) 0 … +10
反應(yīng)時間 ms 30
暴露于真空的材料 Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L)
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SIBATA柴田、SUGIYAMA杉山、Kakuhunt寫真化學(xué)、NIPPON GEAR日本齒輪
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