Sensofar S lynx 光學輪廓儀技術解析

產(chǎn)品概述

Sensofar S lynx 是一款多功能光學輪廓測量系統(tǒng)，適用于微納米尺度表面形貌分析需求。該系統(tǒng)采用模塊化光學設計，可滿足半導體、精密光學和材料科學等領域的表面測量要求。Sensofar S lynx 光學輪廓儀技術解析

核心技術特點

測量技術集成

• 結合共聚焦、干涉和白光垂直掃描三種測量技術

• 自動切換測量模式，適應不同表面特性

• 垂直分辨率可達亞納米級

• 水平分辨率最高可達0.5μm

光學系統(tǒng)配置

• 采用高數(shù)值孔徑物鏡，提升測量精度

• 自動對焦與樣品導航功能

• 多視野拼接功能，擴大測量范圍

• 可選配不同放大倍率物鏡

智能分析功能

• 自動表面參數(shù)計算（粗糙度、臺階高等）

• 三維形貌可視化分析

• 多區(qū)域?qū)Ρ葴y量功能

• 自定義分析模板設置

典型應用領域

1. 半導體晶圓與器件表面檢測

2. 精密光學元件面形測量

3. MEMS器件三維形貌表征

4. 功能性涂層表面分析

5. 材料科學研究與質(zhì)量檢測

操作注意事項

• 建議在穩(wěn)定環(huán)境條件下使用

• 測量前需進行系統(tǒng)校準

• 根據(jù)樣品特性選擇合適的測量模式

• 高反射/低反射樣品可能需要參數(shù)調(diào)整

技術支持服務

Sensofar提供以下專業(yè)支持：

• 系統(tǒng)安裝與操作培訓

• 測量方法開發(fā)指導

• 定期維護校準服務

• 軟件功能升級支持

• 應用技術支持咨詢

產(chǎn)品價值體現(xiàn)

Sensofar S lynx 通過其多技術融合的測量能力和智能化分析功能，為微納米表面形貌表征提供了靈活的解決方案。該系統(tǒng)適用于需要高精度表面分析的研發(fā)和質(zhì)量控制場景。Sensofar S lynx 光學輪廓儀技術解析