半導體探針冷熱臺
- 公司名稱 上海燊妤精密儀器有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2025/8/12 18:58:04
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| 應用領域 | 食品/農產品,制藥/生物制藥 |
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HEMADE MHS300G-4P、MHS600G-4P
HEMADE MHS300G-4P、MHS600G-4P半導體探針冷熱臺是一款專門針對半導體芯片研發、測試而設計的產品。這款半導體探針冷熱臺熱臺擁有高精度的探針位移平臺，良好的氣密性能和精準的溫控系統。
溫度范圍： -196℃~600℃
加熱區： φ27mm
探針行程： 13mm
探針位移精度 1μm
探針針尖直徑（默認） 100μm
物鏡工作距離： 15mm
通光孔直徑： 2mm
最大升溫速率： 0~150℃/min
觀察窗： φ40mm
溫控精度： 0.1℃
支持反射/透射模式
支持改動和定制
上位機軟件控制
型號 | MHS300G-4P | MHS600G-4P | |
溫控模塊 | 制冷/加熱方式 | 液氮制冷,電阻加熱 | |
溫控范圍 | -196~300°C* | -196~600°C* | |
溫度穩定性 | ±0.1°C | ||
溫度分辨率 | 0.1°C | ||
最大升溫速率 | 0~150°C/min (可定點/程序段控溫) | ||
溫控方式 | PID | ||
溫度傳感器 | PT100 | ||
光學特性 | 光路 | 反射/透射光路（可選） | |
視窗材質 | 石英玻璃* | ||
視窗尺寸 | φ40mm* | ||
視窗厚度 | 0.5mm* | ||
物鏡工作距離 | 15mm* | ||
透光孔 | φ2mm* | ||
電學特性 | 探針 | 移動探針模組x4 *,手動調整XYZ | |
探針行程 | 13mm | ||
探針位移精度 | 1μm | ||
探針接口 | SMA 接口x4* | ||
探針直徑 | 10 / 50 / 100 μm* | ||
樣品臺面電位 | 接地（默認接地）/電懸空/三同軸*（可選） | ||
結構特性 | 樣品臺尺寸 | φ27mm* | |
樣品臺材質 | 銅質* | 純銀* | |
外形尺寸 | 460x290x82mm* | ||
樣品腔高度 | 12mm* | ||
腔室 | 氣密 | ||
基本配置 | 冷熱臺x1、溫控系統x1、低溫系統x1、液氮罐2Lx1、循環水系統x1、溫控軟件 | ||
選配 | 電腦主機/平板電腦/觸控屏/安裝支架/真空系統/其他定制 | ||
備注 | 以上為默認參數 * 為可定制項 | ||
其他可選型號 | 按需求進行配置 | ||
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