| 產地類別 | 國產 | 應用領域 | 石油,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,綜合 |
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一、產品定位：跨尺度表面形貌分析的“全能選手”
作為Sensofar第五代干涉共焦顯微鏡，S neox系列突破傳統單一技術局限，通過共聚焦掃描、白光干涉、相位差干涉、AI多焦面融合四大模式協同工作，實現從粗糙表面（Ra>10μm）到超光滑表面（Ra<0.1nm）的全場景覆蓋。Sensofar S neox“四維協同”重塑微觀世界其核心價值在于：
一機多用：無需硬件更換，軟件一鍵切換測量模式，降低設備采購成本；
智能自適應：根據樣品特性自動優化光源波長、入射角度及算法，減少人工干預；
抗干擾設計：搭載實時環境補償算法（REC），在普通實驗室振動條件下（>100nm）仍可穩定輸出數據。
二、產品性能：技術參數定義
1. 核心參數表
| 參數項 | S neox標準型 | S neox Five Axis（五軸型） |
|---|---|---|
| 橫向分辨率 | 0.12μm（共聚焦模式） | 0.10μm（高NA物鏡） |
| 縱向分辨率 | 0.1nm（白光干涉模式） | 0.05nm（相位差干涉模式） |
| 最大測量范圍 | 150mm×150mm（電動平臺） | 300mm×300mm（五軸旋轉臺） |
| 最大斜率測量 | 86°（融合共聚焦模式） | 88°（配合五軸旋轉臺） |
| 數據采集速度 | 180幀/秒（500萬像素CMOS傳感器） | 250幀/秒（高速相機選配） |
| 軟件功能 | SensoSCAN基礎版（含ISO 25178/4287分析） | SensoMAP Pro（支持AI缺陷識別與數字孿生） |
2. 技術突破亮點
Microdisplay共焦技術：掃描頭內無運動部件，消除機械振動對精度的干擾，壽命提升至10萬小時；
連續共聚焦掃描：通過同步面內與Z軸掃描，將傳統共聚焦速度提升3倍，15×15mm區域掃描僅需42秒；
三波長干涉場重建：單次掃描同步獲取表面形貌、膜厚分布（0.1nm分辨率）、材料折射率及真色彩光學特征。
三、用材與工藝：工業級可靠性保障
光學系統：采用德國肖特超低色散玻璃與日本濱松高功率LED光源，光路穩定性優于λ/20（波長/20）；
機械結構：航空級鋁合金框架搭配大理石基座，抗振動干擾能力提升50%，適應潔凈車間、生產線等復雜環境；
防護設計：IP54防護等級，關鍵部件（如物鏡、電動平臺）采用密封設計，通過ISTA 3A運輸測試標準。
四、應用場景：跨行業解決方案
1. 半導體制造
檢測晶圓表面亞表面損傷層厚度，定位精度達0.5μm；
評估刻蝕均勻性，支持米級長度在線全檢。
2. 新能源電池
非接觸式測量極片涂層厚度一致性，避免探針劃傷風險；
實時監測隔膜微孔結構，優化電解液浸潤效率。
3. 生物醫學
分析人工關節羥基磷灰石涂層的孔隙率與結晶度，預測植入物壽命；
捕捉細胞培養基底表面形貌對細胞生長的影響（如干細胞分化導向）。
4. 航空航天
測量渦輪葉片表面粗糙度（Ra=8.3μm），量化噴砂處理工藝參數；
檢測復合材料內部缺陷（如分層、孔隙），支持CT數據融合分析。
五、包裝與運輸：安全交付的“全流程防護”
定制化包裝：高密度泡沫內襯+防震木箱，通過ISTA 3A運輸測試，確保設備在長途運輸中免受沖擊；
配件清單：標準物鏡套裝（2.5×-100×）、校準樣塊、SensoSCAN軟件授權、操作手冊與快速指南；
可選配模塊：12英寸自動晶圓臺、高溫原位測量艙（最高800℃）、五軸旋轉臺。
六、使用說明：從開箱到測量的“三步閉環”
安裝調試：由Sensofar認證工程師提供現場安裝與光路校準服務，確保設備達到出廠精度標準（縱向精度±0.5nm）；
操作培訓：通過線上課程與線下實操結合，覆蓋軟件參數設置、測量模式選擇、數據分析報告生成等全流程；
日常維護：提供每日清潔、季度校準、年度保養的標準化流程，延長設備使用壽命。
結語：S neox——微觀世界的“通用語言”
從哈佛大學量子點薄膜的原子級堆疊分析，到特斯拉超級工廠每分鐘30個電池極片的涂層厚度檢測，Sensofar S neox正以“四維協同”技術重新定義表面測量標準。其價值不僅在于數據精度，更在于將不可見轉化為可量化，將經驗判斷升維至數據決策——這正是工業4.0時代對微觀分析的核心需求。Sensofar S neox“四維協同”重塑微觀世界
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