項目：M２１０0V型、M２１０0A
　　1、流量規格（N2）：２５sccm～１２０slpm
　　2、準確度：±1％F.S（Full　Scale）
　　3、重復精度：±0.25％　FS（Full　Scale）
　　4、響應時間：≤3sec（特別要求：≤1sec）
　　5、耐壓：zui高：95　bar
　　6、工作環境溫度：5℃～65℃
　　7、輸入輸出信號：0～5Vdc　or4～20mA
　　8、電源：±15Vdc，350mA

范

  1. 用途及特點

氣體質量流量控制器（ Mass Flow Controller 簡稱MFC ）能夠在較大的量程

范圍內對氣體的質量流量進行精密測量和控制。

氣體質量流量計（ Mass Flow Meter 簡稱MFM ）能夠在較大的量程范圍內

對氣體的質量流量進行精密測量。

它們在石化工業、半導體和集成電路工業、特種材料學科、醫藥、環保和

真空等多種領域的科研和生產中有著重要的應用。其典型的場合包括：電子工藝

設備，如、氧化、CVD、擴散、外延、等離子刻蝕、離子注入、濺射、；以及微反應裝置、混氣配氣系統、鍍膜設備、光纖熔練、氣相色譜儀及其它分析儀器。

Line-Tech Ltd.致力于對產品的性能和生產工藝的不斷改進。對M 系列氣

體質量流量控制器（MFC）和氣體質量流量計（MFM）進行了全新的技術改造，

在功能和性能上有了進一步的提高。

M 系列氣體質量流量控制器和質量流量計具有精度高、響應速度快、重

復性好、穩定性佳、軟啟動、工作壓力范圍寬等特點（可以在高壓或真空條件下

工作），其操作使用方便，可任意位置安裝調試，并更好的與計算機連接實現自

動控制。