L45 擴(kuò)散爐
參考價 | ¥ 13 |
訂貨量 | ≥1 |
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 青島森岡自動化有限公司
- 品牌
- 型號 L45
- 產(chǎn)地 青島市城陽區(qū)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2017/11/18 5:25:17
- 訪問次數(shù) 373
產(chǎn)品標(biāo)簽
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擴(kuò)散爐是半導(dǎo)體器件及規(guī)模集成電路制造過程中用于對晶片進(jìn)行擴(kuò)散、氧化、退火、合金及燒結(jié)等工藝的一種熱加工設(shè)備。按控制方式分為微控和程控兩種。其組成有:加熱爐體(擴(kuò)散爐主機(jī))、凈化工作臺、送片系統(tǒng)(推拉舟系統(tǒng))、氣源系統(tǒng)、控制系統(tǒng)等。
微機(jī)主要技術(shù)指標(biāo)
◆可配工藝管外徑:2~8英寸
◆可配工藝管數(shù)量:1~4管/臺
◆工作溫度范圍:400~1300°C
◆恒溫區(qū)長度及精度:300~1000mm 600~1300°C±0.5°C
◆單點溫度穩(wěn)定性:600~1300°C±0.5°C/24h
◆zui大可控升溫速度:15°C/min
◆zui大降溫速度:5°C/min
★我們可為用戶量身定制非標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品。
微機(jī)主要技術(shù)指標(biāo)
◆可配工藝管外徑:2~8英寸
◆可配工藝管數(shù)量:1~4管/臺
◆工作溫度范圍:400~1300°C
◆恒溫區(qū)長度及精度:300~1000mm 600~1300°C±0.5°C
◆單點溫度穩(wěn)定性:600~1300°C±0.5°C/24h
◆zui大可控升溫速度:15°C/min
◆zui大降溫速度:5°C/min
★我們可為用戶量身定制非標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品。
該系統(tǒng)主要功能如下:
◆全中文操作界面,可編輯參數(shù),操作簡便。
◆可保存多條工藝曲線,每條曲線可設(shè)置多步。
◆工藝曲線的自動運(yùn)行控制功能。
◆自動運(yùn)行中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能。
◆工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝歩運(yùn)行功能。
◆只能升降溫斜率控制功能。
◆PID參數(shù)自整定功能。
◆可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能。
◆系統(tǒng)故障的檢測與報警功能。
◆系統(tǒng)誤差修正(單點或多點動態(tài)修正功能)。
◆智能懸臂推拉舟控制功能。
◆工藝氣體的程序控制功能(電磁閥/質(zhì)量流量控制器)。
◆停電后斷點繼續(xù)運(yùn)行功能等等
◆全中文操作界面,可編輯參數(shù),操作簡便。
◆可保存多條工藝曲線,每條曲線可設(shè)置多步。
◆工藝曲線的自動運(yùn)行控制功能。
◆自動運(yùn)行中可暫停/繼續(xù)運(yùn)行功能。
◆工藝中可強(qiáng)制跳到下一工藝歩運(yùn)行功能。
◆只能升降溫斜率控制功能。
◆PID參數(shù)自整定功能。
◆可存儲多組PID參數(shù)供系統(tǒng)運(yùn)行調(diào)用功能。
◆系統(tǒng)故障的檢測與報警功能。
◆系統(tǒng)誤差修正(單點或多點動態(tài)修正功能)。
◆智能懸臂推拉舟控制功能。
◆工藝氣體的程序控制功能(電磁閥/質(zhì)量流量控制器)。
◆停電后斷點繼續(xù)運(yùn)行功能等等