名稱：低濃度氧化鋯氧分析儀（日本橫河） 
型號：OX400-3-PT-E-H  
  
低濃度氧化鋯氧分析儀OX400-3-PT-E-H儀器資料： 
  
    氧化鋯傳感器中采用了新型薄膜沉積技術，在氧化鋯元素和鉑層間建立了分子聯接。這樣不僅預防剝離，還可以減小傳感器尺寸，確保高速響應和長壽命。
OX400可用于控制和監視各種半導體應用，并控制環境，空氣泄漏入惰性氣體及其他過程。

用于半導體擴散爐和烘干爐，以及LCD制造工藝中的氧氣濃度控制 用于控制錫焊爐氣流和回流爐中氣體的氧氣濃度，以及電子制造中使用的手套箱和氣體生產工藝中氧氣濃度的測量 測量氧氣濃度，防止粉塵運輸中粉塵爆炸

OX400-3-PT-E-H特性
#使用壽命長，響應速度快

--由于使用了橫河電機的新型薄膜沉積技術，傳感器的壽命周期提高了三倍

--圓柱形傳感器設計便于置換被測氣體，確保高速響應

#高性能和高可靠性

--即使在低氧濃度下，仍具有*的精度和線性

--在不同應用中，可選擇泵式或抽提采樣方式

#內置功能和多種自診斷功能

--自帶多選擇器，自動量程，特定量程以及泵開/關功能

--提供多種自診斷功能，以檢測故障，如加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷偶和傳感器電阻值錯誤

#出眾的維護性

-- 可現場更換傳感器

--小型輕量，易于安裝

OX400-3-PT-E-H規格
測量對象 惰性氣體中的氧氣濃度
（易燃性氣體、二氧化硅、腐蝕性氣體或液體（包括水蒸氣）除外）
測量系統 氧化鋯系統
采樣方法 泵式，抽提式等
樣氣條件 流速: 200 ± 25ml/min（僅用于傳感器）
溫度: 0~50℃（無結露）
濕度: 無結露
壓力: 0~300PaG
zui大容許壓力: 30kPaG
測量量程 0-10ppm O2至0-100vol% O2
輸出量程 自動: 0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，0-100%（默認）其他: 可設為0- 0ppm，0- 00ppm，0-000 ppm，0- %，0- 0%，0-100%，1~9的整數
固定: 設為0-10ppm，0-100ppm，0-1000ppm，0-1%，0-10%，或0-100%
部分: 可設置下限值或上限值
 
模擬輸出 2路輸出，
一次: 4～20mA DC（zui大負載電阻: 550Ω）
二次: 可選為0~1，0~5，0~10V DC（負載電阻: 10kΩ或更大）
接點輸出 報警輸出2點: 錯誤接點，O2濃度報警接點
量程范圍輸出1點: 接點輸出
多選擇器（選配件）: 流路切換接點輸出和測量中流路信息接點輸出
 
接點輸入 1點: 采樣氣體吸入泵的遠程ON/OFF
自診斷 錯誤（故障）: 傳感器錯誤，加熱器溫度錯誤，溫度傳感器斷開，設備溫度錯誤，CPU錯誤，FAN停止
報警（警告）: 加熱器不穩定，傳感器錯誤，電動勢異常，非對稱電壓錯誤錯誤，標定錯誤，傳感器電阻錯誤，O2濃度上/下限，超限
 
串口通信 RS-232，38400 bps
標定方法 （1）3點: 10ppm，1000ppm，空氣，（2）2點: 可設定為零點氣和量程氣標定，（3）1點，（4）空氣標定
暖機時間 20分以內
電源 100 - 120V AC/220 - 240V AC，50/60Hz
功耗 100～120V AC，200VA zui大，220～240V AC，400 VA zui大
尺寸 213 （W） x 132 （H） x 約375 （D） mm
質量 約5kg
管線連接 氣體入口: Rc1/4或1/4NPT內螺紋
氣體出口: Rc1/4或1/4NPT內螺紋
環境條件 安裝條件: 室內，盤裝或壁裝，非易燃區域
環境溫度: 0～40℃，無結露
環境濕度: 5～85%RH
儲存溫度: -5～50℃
 
符合的安全標準
和EMC標準 安全標準: 61010-1:2001
EMC: EN 61326-1 Class A，Table 2（用于工業現場） EN 61326-2-3，EN 61000-3-2，EN 61000-3-3