RPS8000-新型溝槽刻蝕諧振式（TERPS）壓力傳感器

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August 8, 2010- GE檢測控制技術業務旗下壓力傳感技術部門發布新型溝槽刻蝕諧振式（TERPS）壓力傳感器技術平臺RPS8000，在顯著提高與傳統諧振壓力技術相關的壓力測試范圍的能力的同時，提供10倍于現有的壓阻式壓力傳感器的精度和穩定性。溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器是在對現有硅諧振壓力傳感器的設計和制造過程進行深入的研發結果，它在從航空航天到海洋工程,海底勘探作業，從過程工藝到工業儀器設備等領域得到廣泛應用。

該產品Steve Sajben解釋：通過繼承我們旗下德魯克技術，我們幾年就前已經能夠提供RPT系列的硅諧振產品。在這段時間里，我們通過公司內部以及與相關研發機構合作，進一步拓展了并研發出更*的制造工藝，使GE提供的壓力傳感器不僅僅具有硅諧振壓力傳感器固有的準確性和穩定性，而且在壓力范圍、溫度范圍和機械封裝等方面都有*地提高。

溝槽刻蝕諧振式（TERPS）壓力傳感器工作原理和GE公司已有的諧振硅壓力傳感器*。硅共振結構通過靜電場而驅動，當壓力施加到膜片上時，硅諧振器就像一個吉他弦一樣被拉伸，改變它的頻率，這種頻率的變化直接與施加的壓力相關。

因為采用了單晶硅結構的力學特性，諧振硅壓力傳感器比壓阻式以及許多其他的壓力測量技術更加精確和穩定。主要的特性在于硅在其斷裂點之前*彈性，*的力學特性為傳感器帶來一個高品質的諧振（高Q值因子），其頻率穩定性不受產品內電子特性的影響。相比之下，壓阻技術需要把電阻元件引入到硅晶體結構中。這些應力靈敏電阻的電學性能不穩定，對電學增益敏感。由于諧振傳感器充分利用硅的機械性能，具有很低的滯后和重復性錯誤以及非常好的*穩定性能。溫度特性的可重復型使其可以被修正。這些方面的特性一起造就了溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器對壓力和溫度變化下的*的性能。

通過使用深度反應離子刻蝕工藝技術，它可以在諧振腔內構建任意復雜的幾何結構。這對于優化設計和諧振器的性能以實現更高的壓力范圍和溫度范圍是非常必要的。此外，硅熔融鍵合的使用使得傳感器的組件可以分開單獨加工，熔融在一起后仍保留單晶硅的特性。同時，傳感器部件設計的*靈活性可使其擁有更高的壓力和溫度范圍。

這兩個工藝伴隨著其他專有的設計組件，例如一個新的從諧振器中得到更強的信號的頻率檢測方法，使得該傳感器可采用重油隔離膜片封裝方式。相對于其他*于干燥無腐蝕性氣體的高精度傳感技術而言，這是一個*的改進。此外，溝槽刻蝕諧振式壓力傳感器中相關電子器件的近一步開發使其可以應用與更高的溫度環境。