Honeywell AWM3300小流量帶放大氣體質量流量傳感器
- 公司名稱 北京聯科創業科技發展有限公司
- 品牌 Honeywell/霍尼韋爾
- 型號
- 產地
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2015/6/26 12:56:17
- 訪問次數 337
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- 技術信息：
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WM3000系列氣體質量流量傳感器特點：
● 激光校整保證了*的互換性；
●測量流速可至1.0LPM 。
WM3000系列是輸出為1-5V 的氣體質量流量傳感器，圖1、圖2、圖3 分別為WM3000系列氣體質量流量傳感器內部的發熱器控制電路、雙傳感電路、差分放大電路圖。
圖1 WM3000系列氣體質量流量傳感器內部的發熱器控制電路 圖2 WM3000系列氣體質量流量傳感器內部的雙傳感電路
3圖 WM3000系列氣體質量流量傳感器內部的差分放大電路圖
WM3000系列氣體質量流量傳感器技術規格：10.0±0.01VDC
AWM3100V
AWM3150V
AWM3200V
AWM3300V
流量范圍（span）
+200sccm
+30sccm
+1000sccm
壓力范圍（psi）
（參照附錄）
±2.0”水柱
輸出電壓
5VDC@
3.4VDC@
5VDC@
5VDC
@ 標定點
200sccm
25sccm
2”水柱
1000sccm
零點電壓
1.00±0.05VDC
1.00±0.1VDC
1.00±0.08mV
1.00±0.1VDC
零點漂移
+25~-25?C
±25mV
±100mV
±25mV
±25mV
+25~+85?C
輸出電壓漂移
Max
+25~-25?C
-4% 讀數
±5.0% 讀數
+24.0% 讀數
-5% 讀數
+25~+85?C
+4% 讀數
±5.0% 讀數
-24.0% 讀數
+5% 讀數
重復性& 遲滯Max
±0.5% 讀數
± 1% 讀數
±0.5% 讀數
±1% 讀數
Min Typ.
Max.
電源（VDC）
8.0 10±0.01
15 （2）
功耗（mW）
50
60
反應時間（ms）
1.0
3.0 （1）
共模壓力（psi）
25 ?C
工作溫度
-25~85?C
儲存溫度（?C）
-40~90?C
沖擊（5drops,6axis）
100g峰值（5drops,6axis）
注 : 1、信號處理zui初預熱所須時間zui多1 分鐘
2、輸出電壓隨電源電壓而比率變化
3、差壓器件的溫漂主要是由氣體的濃度隨溫度而變化
氣流器件的溫漂主要是薄膜TCR 的系數的二次根及厚膜電阻的溫飄，加上運放的溫飄
4、為防止損壞，zui大允許流量變化值：5.0SLPM/1.0 秒AWM3000系列氣體質量流量傳感器*型號:
*型號
量程
AWM3100V
+200SCCM
AWM3201CR
±0.5 英寸水
AWM3200V
±2 英寸水
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