非接觸式三維高清圖像的光學輪廓儀白光干涉儀器 - 白光干涉帶來了高的分辨率、 400萬像素的圖像、大的掃描范圍，可定制的波長范范圍，使用戶可以輕松靈活的的到任何表面形貌。提供了二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計算、曲率計算、模擬一維分析、數據輸出、數據自動動態存儲、自定義數據顯示格式等。綜合繪圖軟件可以采集、分析、處理和可視化數據。表面統計的計算包括峰值和谷值分析。基于傅立葉變換的空間過濾工具使得高通、低通、通頻帶和帶阻能濾波器變的容易。多項式配置、數據配置、掃描、屏蔽和插值。交互縮放。X-Y和線段剖面。三維線路、混合和固定繪圖。用于階越高度測量的地區差異繪圖。

光學輪廓儀參數性能        

參數性能追尋持續改進的目標

AEP的技術致力于日新月異的改善產品性能參數。 欲了解的配置和性能，請與我們。

垂直分辨率          0.1nm，0.02nm

搭載多鏡頭          zui多可同時搭載6枚物鏡

平臺范圍               150毫米x 150毫米（可選200毫米或更大）

物鏡倍數               0.5倍到100倍

Z軸聚焦范圍       0.1納米至10mm

傾斜角度               + / - 10度

手動旋轉平臺范圍             360度

像素標準               1024×1024，可選的1536 x 1536或1920×1920

高清圖像

2維、3維的直方圖等視圖

白光干涉可以呈現2維和3維圖像。利用所提供的軟件，通過設置一些選項、可以得到客戶需求的的曲線、標繪、視圖（例如直方圖及雷達圖等）

成像光源

長壽命強光LED，用戶可自選波長范圍

白光干涉儀對其光源承諾*的十年質保。高亮的LED允許成像樣品的反射率范圍從小于0.4%到*（高亮度的LED使反射率從小于0.4%到*的樣品均可清晰成像。）白光干涉光源承諾十年質保。

白光干涉儀也允許客戶改變可用波長掃描各種樣品。