目錄:孚光精儀（中國）有限公司>>表面微納測量>>晶圓翹曲度測量儀>> FPACT-Closed-Loop閉環自適應光學系統DM低階像差校正
| 產地類別 | 進口 | 應用領域 | 環保,能源,電子/電池,航空航天,電氣 |
|---|---|---|---|
| 波長范圍 | 400-1000nm |
閉環自適應光學系統是針對激光束在激光加工過程中產生的低階像差進行校正的自適應光學系統。該閉環自適應光學系統由雙壓電晶片變形鏡（DM）作為波前校正器，采用改進的Shack-Hartmann技術測量波前梯度的和實現閉環算法的軟件組成。
閉環自適應光學系統規格
•輸入光束孔徑-高達500 mm
•波長范圍-400…1100 nm（或根據客戶要求）
•波前采樣-20x20 lenslet子孔徑或更多
•工作頻率-高達100Hz
•最大校正像差-高達30λ@632.8 nm
•校正精度-優于λ/10@632.8 nm
•工作電壓-100-120和200-240VAC@50/60Hz
閉環自適應光學系統軟件包括：
•參考波前測量
•DM響應函數的測量
•P-V，RMS的計算
•參考波前的保存與恢復
•閉環算法的“凍結"
•顯示控制電壓、電壓條、條紋、澤尼克系數、澤尼克條、波前梯度、參考狀態
閉環自適應光學系統標準包裝：
•變形雙晶片鏡
•雙晶片反射鏡控制器
•哈特曼波前傳感器
•M2傳感器（可選）
•計算機（可選）
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