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薄膜厚度繪圖儀SRM是采用光譜反射儀技術的薄膜厚度分布測試儀器,可對樣品面積上的薄膜厚度繪圖獲得整面的薄膜厚度分布和薄膜厚度均勻性參數。
這款薄膜厚度繪圖儀具有較長工作距離，工作距離可調，超大樣品臺，可選光源等特點。
薄膜厚度繪圖儀特點
使用基于Windows的軟件易于設置和操作
直徑達300mm的各種幾何形狀襯底
各種類型的映射模式，如線性、極坐標、方形或任意坐標
**的光學和堅固的設計，實現***佳的系統性能
基于陣列的探測器系統，確保快速測量
地圖膠片厚度和折射率高達5層
系統配有全面的光學常數數據庫和庫
包括常用食譜
**的TFProbe軟件允許用戶為每張膠片使用NK表、色散或有效介質近似（EMA）。
可升級到具有模式識別的MSP（顯微分光光度計）標測系統，或用于在圖案化或特征結構上進行標測的大光斑
適用于多種不同厚度的基材
2D和3D輸出圖形和用戶友*的數據管理界面，帶有統計結果
以csv文件格式輸出映射結果
系統附帶長壽命燈具
所有USB通信和PC控制
薄膜厚度繪圖儀應用
半導體制造
液晶顯示屏測量
刑偵
生物膜測量
礦石地質分析
制藥醫學分析
光學鍍膜測量
功能薄膜MEMS測量
太陽能電池薄膜測量
薄膜厚度繪圖儀軟件操作界面
薄膜厚度繪圖儀軟件結果
薄膜厚度繪圖儀軟件三維展示
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