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電子探針X射線顯微分析儀,EPMA系統采用X射線熒光顯微鏡和電子探針X射線顯微分析技術對樣品進行X射線顯微探針分析,繼承了光學顯微鏡,X射線成像和X射線熒光譜技術測量元素。
電子探針X射線顯微分析儀,EPMA系統特點
顯微測焦X射線管
毛細管透鏡用于制作可變尺寸的X射線探針
視頻相機方便選擇分析區域
光學顯微鏡結合X射線探針
自動系統方便選擇工作距離
自動XY樣品臺,方便定位和掃描樣品區域
自動移動分析器件沿Z軸移動
探測器適合輻射成像研究
硅漂移探測器用于局部XRF熒光分析
內置自動系統水冷X射線管
電子探針X射線顯微分析儀,EPMA系統軟件功能
局部元素分析元素分布elemental mapping研究
單樣品標定校準
標準樣品校準曲線
確定特定線的能量和強度
定量和半定量分析（基礎參數方法）
光譜數據中的光譜比較和搜尋
自定義樣品區域用于元素分布elemental mapping研究
光譜和繪圖結果存儲到數據文件
比較，背景扣除，均一化數據
重疊光譜繪圖圖像結果到光學和X射線圖像上
自動分析用戶定義的樣品點
軟件X射線成像功能
數字化亮度和對比度控制
變焦控制
測量圖像兩點的距離
數據存儲功能
存儲數據到數據庫中
保存測量結果,輸出成Windows系統中的其它格式
數字化圖形
圖像和程序打印
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