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大量晶圓傳送系統(tǒng)SWTM是批量晶片轉(zhuǎn)移設(shè)備,能夠?qū)⒁粋€晶圓盒中的所有晶片轉(zhuǎn)移到另一個盒中。該系統(tǒng)配備一個晶圓盒站、機(jī)械晶片凹口/平面對準(zhǔn)器和夾持器機(jī)械裝置。
大量晶圓傳送系統(tǒng)可用于100、125、150和200mm晶圓。
大量晶圓傳送系統(tǒng)的傳輸模式：
存儲盒->處理盒
處理盒->特氟隆盒
高輪廓暗盒->低輪廓暗盒
大量晶圓傳送系統(tǒng)特點(diǎn)
吞吐量可達(dá)2000 wph
集成平面/凹口對準(zhǔn)器
抓邊
不需要真空
*SECS/GEM合規(guī)
靜電安全
RFID磁帶識別請求

大量晶圓傳送系統(tǒng)SWTM是批量晶片轉(zhuǎn)移設(shè)備,能夠?qū)⒁粋€晶圓盒中的所有晶片轉(zhuǎn)移到另一個盒中。該系統(tǒng)配備一個晶圓盒站、機(jī)械晶片凹口/平面對準(zhǔn)器和夾持器機(jī)械裝置。
大量晶圓傳送系統(tǒng)可用于100、125、150和200mm晶圓。
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