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自動FOUP開盒機可對300毫米FOUP盒自動開門器解鎖、移除并存儲FOUP門。FOUP下方的旋轉基座機構允許360°旋轉，以將打開的FOUP盒定位在操作員的良好人體工程學進入位置。
自動FOUP開盒機通常安裝在FOUP晶圓盒清洗站，用于拆卸和重新組裝吊艙。為ISO 3級（FS209E 1級）設計；抗靜電結構。
自動FOUP開盒機規格參數
| 適合晶圓尺寸 | 300mm |
|---|---|
| 供電要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately |
| 吞吐量 | 90 FOUPs/小時 |
| 重量 | 約為30kg |
自動FOUP開盒機可對300毫米FOUP盒自動開門器解鎖、移除并存儲FOUP門。FOUP下方的旋轉基座機構允許360°旋轉，以將打開的FOUP盒定位在操作員的良好人體工程學進入位置。
自動FOUP開盒機通常安裝在FOUP晶圓盒清洗站，用于拆卸和重新組裝吊艙。為ISO 3級（FS209E 1級）設計；抗靜電結構。
自動FOUP開盒機規格參數
| 適合晶圓尺寸 | 300mm |
|---|---|
| 供電要求 | 24VDC 3 Amps 120VAC to 24VDC Power Supply Sold seperately |
| 吞吐量 | 90 FOUPs/小時 |
| 重量 | 約為30kg |
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