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自由度：4個獨立的自由度X,Y,Z,R
尺寸：主體20.5mm x 21.7x 12.5mm, 機械臂8.3mm
重量：12g
最大定位分辨率：Stepping模式下:60nm(X,Y), 120nm(Z)
Scanning模式下：0.02nm(X,Y), 0.1nm(Z)
運動范圍： Stepping模式：20x20mm(XY), +/-180度（R), 41度（Z)
Scanning模式：440x250x780nm (XYZ)
運動速度：1.5mm/s (XY), 150mrad/s(Z)
力/力矩： 推力0.3N (XY), 升力：0.7mNm(5g) (Z)， hold力: 0.2N (XY)， 0.9mNm(6g) (Z)
Tilt 角：最高55度
漂移：<1nm /min
電學探針規格：
電壓范圍：+/-100V
電流范圍：100mA
漏電流：<100fA/V
帶寬：最大25MHZ
電阻：約為3.5歐姆
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